濕電子化學品是微電子制造技術的關鍵性材料,在顯影、蝕刻、清洗等工藝中必不可少,直接關系到下游產品質量。由于處于精細化工和電子信息行業交叉的領域,其專業跨度大,技術門檻高,被德國、美國和日本的知名企業占據著高端市場大部分份額。
中國的濕電子化學品行業起步較晚,目前在中低端市場已發展成熟,廣泛應用于太能電池生產環節,市場競爭激烈;而顯示面板、半導體等行業的需求仍然依賴進口。
全球及中國主要的濕電子化學品供應商
地區 | 企業 | 企業情況 |
歐美 | BASF | 德國BASF為半導體產業和顯示面板行業生產提供電子化學品產品,是電子化學品行業的領先供應商 |
霍尼韋爾 | 美國霍尼韋爾能夠提供氫氟酸、氫氧化銨、過氧化氫和鹽酸等高純度濕電子化學品 | |
默克 | 德國默克能夠為晶圓加工領域提供高純濕電子化學品解決方案 | |
英特格 | 美國英特格是半導體和其他高科技行業的先進材料和工藝解決方案的供應商 | |
日本 | 關東化學 | 日本關東化學主要從事半導體用酸堿類超凈高純試劑的生產、研發 |
三菱化學 | 日本三菱化學主要生產高純濕電子化學品,如硫酸、硝酸、鹽酸、草酸、雙氧水、氨水 | |
住友化學 | 日本住友化學主要從事半導體、顯示面板等領域超凈高純試劑的生產、研發 | |
Stella | 日本Stella主要從事半導體及顯示面板用高純氫氟酸生產 | |
中國臺灣地區 | 東應化 | 臺灣東應化主要生產半導體、TFT-LCD用剝離液、顯影液等產品 |
聯仕 | 臺灣聯仕擁有3-4萬噸濕電子化學品年產能,在我國半導體應用領域中有一定市場份額 | |
韓國 | 東友 | 韓國東友、韓國東進兩廠家主要生產顯示面板加工用的濕電子化學品,在我國有一定規模的市場份額 |
東進 | ||
Soul-brain | 韓國Soul-brain是大型氫氟酸生產廠商 | |
中國大陸 | 江化微 | 江化微主營業務為超凈高純試劑、光刻膠配套試劑等濕電子化學品的研發、生產和銷售。主要產品為氫氟酸、剝離液等 |
中巨芯 | 中巨芯是國內領先的電子化學品供應商,產品廣泛應用于集成電路、顯示面板以及光伏等領域的清洗、刻蝕、成膜等制造工藝環節 | |
晶瑞電材 | 晶瑞電材生產的主要品種包括氫氟酸、雙氧水、氨水、鹽酸、硫酸、硝酸等 | |
格林達 | 格林達是一家專業從事高純電子化學品研發、生產和服務的高新技術企業,是全球主要的顯影液TMAH生產商之一 | |
上海新陽 | 上海新陽主要從事電子電鍍與電子清洗系列功能性化學材料的研發、生產、銷售 | |
飛凱材料 | 飛凱材料從光通信領域紫外固化材料的自主研發和生產開始,目前已將核心業務范圍逐步拓展至集成電路制造、屏幕顯示等領域 | |
新宙邦 | 新宙邦是領先的電子化學品和功能材料企業,產品主要有鋰電池化學品、電容器化學品、有機氟化學品、半導體化學品以及LED封裝材料等 | |
湖北興福 | 湖北興福產品種類由最初的電子級磷酸拓展到電子級硫酸、電子級硝酸、電子級鹽酸、電子級雙氧水、電子級氨水等 | |
江陰潤瑪 | 江陰潤瑪主要從事超凈高純試劑的研發、生產和銷售,主要產品有氫氟酸、硝酸、蝕刻液等 |
——中國半導體濕電子化學品市場情況
超凈高純試劑和配套材料是電子工業中的關鍵性基礎化工材料,其質量好壞直接影響到電子產品的成品率、電性能及可靠性,也對微電子制造技術的產業化有重大影響。因此,電子工業的發展要求超凈高純試劑和配套材料與之同步發展,不斷地更新換代,以適應其在技術方面不斷推陳出新的需要。近年來,國內晶圓廠產能快速增長,據SEMI預計,中國大陸晶圓廠裝機產能達到每月400萬片英寸等效晶圓,年復合增長率為12%,增速遠高于國外其他地區。晶圓廠產能的增加帶動上游濕電子化學品(濕電子化學品屬于電子化學品領域的分支,是微電子、基礎化工材料電子化學品電子信息材料(包括微電子化學品)、電子信息產品(半導體、太陽能電池、LED、平板顯示、鋰電池等)、光電子濕法工藝制程中使用的各種液體化工材料,包括超凈高純試劑及配套材料等)的需求。
中國半導體濕電子化學品市場
年份 | 前道工藝 | 后道工藝 | 合計 |
2016 | 3.31 | 1.57 | 4.88 |
2017 | 3.74 | 1.67 | 5.41 |
2018 | 4.25 | 1.85 | 6.10 |
2019 | 4.10 | 1.78 | 5.88 |
2020 | 5.19 | 1.96 | 7.15 |
2021 | 5.80 | 2.14 | 7.94 |
2022 | 6.45 | 2.38 | 8.83 |
中國半導體前道用濕電子化學品中,需求量最大的是硫酸和雙氧水約各占總需求的25%左右,其次是光刻膠配套試劑(包括顯影液、稀釋液、剝離液等,未考慮鋁制程或銅制程使用的剝離清洗劑產品)約占半導體前道工藝用濕電子化學品需求的20%。
中國半導體前道工藝用濕電子化學品細分占比
目前國內6吋及以下晶圓加工所用的濕電子化學品的國產化率已經超過80%。8吋晶圓產品加工所用的濕電子化學品國產化率正在不斷提升,而12吋晶圓產品所用的濕電子化學品國產化率非常低。
近來來,中國多個8吋或12吋晶圓廠項目落地投產,帶動了材料及設備的需求。而近幾年,美國對中國企業的出口管控、技術封鎖,日本對韓國半導體材料的限制出口等一系列情況,再一次敲響了半導體國產化的鐘聲。未來或許有更多的資金投入到國內晶圓廠的建設。
目前,12吋晶圓加工主導半導體用濕電子化學品需求。12吋晶圓制造過程中所使用的濕電子化學品約為24千克/片,8吋晶圓消耗量約為12吋晶圓消耗量的五分之一,約為5千克/片左右,6吋晶圓消耗量約為12吋晶圓消耗量的八分之一左右,約為3千克/片,以此來推算國內半導體用濕電子化學品的需求量。
根據未來中國半導體晶圓產能進行推算,亞化咨詢預計到2025年,中國半導體用濕電子化學品需求量將超過60萬噸。
——企業份額與國產化機遇(附中國半導體濕電子化學品項目情況)
雖然中國市場空間廣闊,但在濕電子化學品的高端產品上,中國企業并不占優。
國際上,濕電子化學品的應用始于20世紀60年代,早于中國十幾年,因而最先進的技術被歐美、日本等國家和地區壟斷。目前,國際上制備了SEMI G1至SEMI G4不同等級的濕電子化學品標準,領先的企業在G4等級技術上趨于成熟,并在G5等級已有突破。
全球濕電子化學品的第一大市場份額,由歐美傳統老牌企業產品占領,其市場份額(以銷售額計)約為33%。德國的巴斯夫(Basf)公司、E.Merck公司、美國的亞什蘭集團、Arch化學品公司以及霍尼韋爾公司等是其中代表。
第二大市場份額,由日本的十家左右生產企業擁有,約占27%的市場份額。其大型企業包括關東化學公司、三菱化學、京都化工、日本合成橡膠、住友化學、和光純藥工業(Wako)、stella-chemifa公司等。
第三大市場份額,主要由中國臺灣企業生產的濕電子化學品所占據,約占全球市場份額的19%。中國臺灣與韓國的部分產品已具備與歐美及日本企業競爭的實力。
中國大陸大多數企業濕電子化學品產品等級在SEMI G1至G2,部分企業在單一產品上達到SEMI G3級別,只有極少數企業個別產品達到SEMI G4級別,與世界領先水平還有較大差距。在濕電子化學品的高端產品上,國產化率僅10%左右。內資企業的布局集中于中低端市場。
濕電子化學品領域,江化微、晶瑞股份等少數企業產品技術等級可達到SEMI標準G4、G5級,客戶覆蓋中芯國際、華潤微電子、長電科技等企業,興發集團、巨化股份等企業也有布局。
半導體材料作為國家大基金二期的重點投資領域之一,伴隨投資陸續落地,以及本土公司自主研發成果兌現,國內半導體產業鏈國產替代腳步將進一步加速,有望在關鍵技術上實現突破。
行業國產化率提升機遇明顯。高端產品技術門檻高,市場被外企層層包圍;中低端市場容易進入,但易形成同質化競爭。企業如何打造自身產品競爭力?成為行業關注的話題。
審核編輯:湯梓紅
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