2022年5月20日，美國總統拜登在韓國總統尹錫悅陪同下視察了三星半導體工廠擴建的最新產線，三星半導體的工作人員向總統們介紹了其產品的部署進展時，介紹了Park Systems 對新的半導體制程量測的貢獻。

帕克原子力顯微鏡公司（Park Systems，以下稱：帕克）為滿足半導體客戶對大面積掃描和納米級計量日益增長的需求，最新推出了Park NX-Hybrid WLI半導體機臺，可為用戶提供全面的計量解決方案。此機臺不僅可實現亞埃米級的高精度微觀形貌測量，同時在成像時還具有測量區域大、吞吐量高的優點。

Park NX-Hybrid WLI半導體機臺，作為一種功能強大的半導體計量工具，首次將原子力顯微鏡 (AFM) 與白光干涉儀 (WLI) 輪廓測量技術二者的核心優勢整合為一個最佳系統。其中， 白光干涉測量 (WLI) 是一種無損傷、非接觸式的光學技術，用于生成高保真的2D 和 3D 的輪廓模型，現已成為半導體生產質量保證。然而，單獨的 WLI 已經不能滿足特定的需要，應運而生的Park NX-Hybrid WLI適用于更高分辨率和精確度的應用，例如高級化學機械拋光 (CMP) 計量和監測、凹陷、腐蝕和邊緣過度腐蝕 (EOE) ，膜厚，柱高，孔結構和模具比較。除此之外，它還能應用于包括硅通孔 (TSV) 、微凸點測量重分布層 (RDL) 測量和光刻膠殘留檢測在內的高級封裝。

△Park NX-Hybrid WLI

與傳統獨立的WLI和AFM系統不同，Park NX-Hybrid WLI以無縫銜接的方式實現了更多功能，并以極低的成本創建了一個完整的集成工具，將兩種工具安裝在同一個支架上并由一個 EFEM 饋送，該系統創建了完全集成和可交換的數據，減少了晶圓廠占地面積并提高了更大面積的吞吐量。在這個整合的系統中，基于Park NX-Wafer而成的Park AFM，是業界領先的半導體及相關設備的自動化原子力顯微鏡系統，它能夠進行線上生產質量保證和研發。組合而成的AFM/WLI系統，使用 WLI模塊能夠在超廣的區域提供高通量成像，并使用AFM在需要的區域提供亞埃高度分辨率的納米級計量。其中“熱點檢測”技術能快速定位高分辨率AFM的缺陷位置。此系統可以使用該技術比較和參考目標樣本區域的圖像來檢測圖案結構的缺陷。

Park WLI 模塊支持白光干涉測量 (WLI) 和相移干涉測量 (PSI) 模式。PSI 模式通過電動濾光片更換器啟用，兩個物鏡可以由電動鏡頭自動更換，支持 2.5倍、10倍、20倍、50倍的物鏡放大倍率，并具有 100x CMOS 的相機功能。

Park NX-Hybrid WLI 糅合了兩種互補的技術，是一個全面綜合性自動化計量系統。與兩個獨立的系統相比，該系統可有效節約成本。

目前推出的新款Park NX-Hybrid機臺，是帕克公司今年計劃推出的一系列混合計量產品的一部分，用以提高和改善原子力顯微鏡在各大工業和學術研究應用中的利用率。

關于帕克公司

韓國帕克股份有限公司(Park)成立于1988年，是全球第一個推出商業原子力顯微鏡產品的上市公司。Park成立30多年來，始終致力于納米領域的形貌&力學測量和半導體新技術新產品的開發。Park采用XY和Z軸分離的平板式掃描器，加上獨家的真正非接觸模式，可避免形貌掃描過程中因探針磨損帶來的圖像失真和數據不一致問題；快速成像技術還可以大大提高測試效率，降低實驗測試成本。

Park成立至今，致力于新產品和新技術的開發，為客戶解決各種技術難題，提供最完善的解決方案。Park的原子力顯微鏡以高尖端產品質量和快捷優質的售后服務受到廣大客戶的認可。為了給客戶提供高效便捷的售后服務， 韓國帕克股份有限公司北京代表處建立有售后服務中心并配有備件倉庫。

審核編輯：符乾江