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芯明天N31系列直線壓電馬達的原理/特點/應用/參數

楊明遠 ? 來源:楊明遠 ? 作者:楊明遠 ? 2022-06-30 15:21 ? 次閱讀

近年來,隨著工業設備及應用的升級與進步,對宏動行程范圍的運動控制提出了更高的要求,更大的行程范圍(mm級)、更高的運動精度(nm級)成為目標。芯明天聚焦前沿科技應用,結合自身技術優勢,組織研發團隊進行了大量的設計與試驗,終于實現了技術上的突破,成功研制了直線壓電馬達運動平臺。

芯明天直線壓電馬達

壓電馬達是由壓電陶瓷作為驅動單元,利用特殊的機械結構設計,將壓電陶瓷產生的直線微位移轉換為機械平面的宏觀直線運動,行程可達幾百毫米,精度則依然可以保持壓電陶瓷的超高精度,達納米級。

原理介紹

芯明天N31系列直線壓電馬達的驅動原理如下圖所示,下圖中展示了部分壓電驅動足的驅動動態效果。

該直線壓電馬達中具有多對壓電陶瓷驅動,成對的壓電陶瓷在不同電壓驅動下發生推拉運動,從而使移動臺面產生爬行前進或后退,而每對壓電陶瓷間的配合,將該直線壓電馬達平臺的運動速度成倍提高。并且,采用該種結構的直線壓電馬達提供了非常高的保持力,是一般壓電馬達保持力的10倍以上。

芯明天N31系列直線壓電馬達,內部采用高性能PZT驅動,直線運動行程可選25mm、50mm、100mm,可達亞納米級分辨率。選配閉環伺服傳感器(增量式編碼器)可提供更高的定位精度。

產品特點

?大出力

?上電自動找零位

?閉環誤碰后自動歸位

?可選光柵尺數字閉環

?采用耐磨材料,真空無磁兼容

?可選二/三維組合

應用領域

?工業級精密定位

?半導體技術/測試

?晶圓檢測

?平版印刷

?納米壓印

?納米計量學

?在強磁場和真空中運動

直線壓電馬達位移測試

大出力

N31系列直線壓電馬達的主動推拉力可達30N,被動保持力達40N。并且N31系列直線壓電馬達水平放置時,可在承載5kg負載下進行高精度運動。

可選配移動臺面

N31系列直線壓電馬達,可根據應用需求選擇配備移動臺面。移動臺面的表面預留有陣列安裝螺紋孔。

耐磨材料

N31系列直線壓電馬達采用高耐磨材料,壽命達千米以上。

高精度增量式編碼器

N31系列直線壓電馬達可選配增量式編碼器作為閉環傳感器,可提高直線運動精度,分辨率<10nm。

斷電自鎖

N31系列直線壓電馬達在斷電后具有自鎖功能,且再次上電時,會自動找零。在使用中,當外力導致的行程變化時,N31也會自動調節歸位保持控制位置精度。

技術參數

型號:N31

運動自由度:X

集成傳感器類型:增量式編碼器

標稱行程范圍:25、50或100mm

速度上限:10mm/s

閉環分辨率:<10nm

開環分辨率:<0.1nm

線性度:1μm

重復度:1μm

推/拉力(主動):30N

保持力(被動):40N

最大承載:5kg

工作溫度:0~50℃

質量(包含電纜):565至715g

材質:鋁、不銹鋼

電纜長度:1.5m

壓電馬達配套控制器

E71系列壓電控制器是專為驅動N31直線壓電馬達而研制,它是由上位機數字控制,且壓電馬達的運動速度可調。

技術參數

型號:E71

控制方式:伺服控制/開環控制

供電輸入電壓:24VDC/4A(20V~30V)

靜態功耗:<10 W

處理器:32bit 168MHz

D/A 轉換器:16bit

串口波特率:115200

通信接口USB、RS-422、RS-232

峰值電流:1A

平均電流:75mA

紋波:10mVpp(加載2.2μF)

額定輸出功率:50W

工作溫度范圍:0~50℃

輸出短路電流:60mA

尺寸:162.5×162×45.5 mm^3

重量:1.3kg

審核編輯:湯梓紅

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