功率器件靜態參數系統測試項目和指標
參數指標
| 項目 | 參數 | |
| 集電極-發射極 | Z大電壓. | 3000V |
| Z大電流 | 1000A | |
| 精度 | 0.10% | |
| 漏電流測試量程 | 1uA~100mA | |
| 柵極-發射極 | Z大電壓. | 300V |
| Z大電流 | 1A(直流)/10A(脈沖) | |
| 精度 | 0.10% | |
| Z小電壓分辨率 | 30uV | |
| Z小電流分辨率 | 10pA |
可測項目
集電極-發射極電壓Vces，集電極-發射極擊穿電壓V(br)ces
集電極-發射極飽和電壓Vce sat
柵極漏電流Iges，柵極-發射極閾值電壓Vge(th)
柵極電阻Rg
電容測量
I-V特性曲線掃描，C-V特性曲線掃描等
PMST功率器件靜態參數測試系統特色：
單臺Z大3000V輸出；
單臺Z大1000A輸出，可并聯后Z大4000A；
10us的超快電流上升沿；
同步測量；
國標全指標的自動化測試
審核編輯 黃昊宇
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