X射線光柵在生命、能源、材料、環(huán)境、食品等領(lǐng)域中具有重要應(yīng)用,由于X射線光柵是非常精密的光學(xué)器件,對(duì)制作工藝的要求很高,尤其是制作高質(zhì)量的二維X射線光柵的難度更大,因此,高質(zhì)量的二維X射線光柵倍受相關(guān)科研人員的期待。
XRnanotech在X射線光學(xué)研究和開(kāi)發(fā)領(lǐng)域的最新創(chuàng)新,突破了可能的界限。依托Paul Scherrer研究所開(kāi)發(fā)的專(zhuān)利技術(shù),加上優(yōu)良的工程能力和高水平的質(zhì)量控制,造就了先進(jìn)的X射線光學(xué)關(guān)鍵器件,另外,依托于高精度加工技術(shù),可定制,系列產(chǎn)品比較豐富。
通過(guò)銥線倍頻技術(shù)獲得最大分辨率
憑借線倍頻技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)精確到5nm的X射線束聚焦,從而成為目前紀(jì)錄的保持者。有了如此精確的聚焦,X射線成像的分辨率達(dá)到高的水平,使得曾經(jīng)不可見(jiàn)的東西變得可見(jiàn),并實(shí)現(xiàn)了全新的應(yīng)用。該方法核心工藝是在反應(yīng)離子蝕刻剝離基底結(jié)構(gòu)之前,在稀疏模板上涂覆一層銥原子層。
利用閃耀光學(xué)方式優(yōu)化效率
光學(xué)器件的光子效率越高,透過(guò)的光子就越多,這意味著效率越高的光學(xué)器件可以為實(shí)現(xiàn)相同的目標(biāo)節(jié)省時(shí)間和能量。與理論光子效率極限為40.5%的傳統(tǒng)二元光柵光學(xué)相比,僅增加一階的閃耀光柵可以將極限提高到68.4%,而再增加一階的閃耀光柵可達(dá)81.1%。
基于電子束光刻的制造工藝,而不是機(jī)械刻劃,可以輕松實(shí)現(xiàn)多階閃耀光柵的設(shè)計(jì)加工。在實(shí)際加工過(guò)程中,XRnatotech已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了衍射波帶片的光子效率超過(guò)50%,而行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是5-10%,大多數(shù)比較先進(jìn)的技術(shù)最高也只達(dá)到25%。這樣,不僅可以將實(shí)驗(yàn)時(shí)間減半,推動(dòng)科學(xué)進(jìn)步,還可以將在大型X射線源上進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的成本減半。
金剛石光學(xué)的輻射穩(wěn)定性
在過(guò)去幾十年中,X射線源的亮度急劇上升,自由電子激光器的亮度達(dá)到太陽(yáng)亮度的1億倍以上。這開(kāi)辟了重要的研究領(lǐng)域,但也暴露了不少X射線光學(xué)器件的關(guān)鍵局限性,在如此高的輻射能量下,這些器件容易融化。XRnanotech開(kāi)發(fā)出一種方法,即用最耐熱的天然材料單片金剛石加工光學(xué)元件。金剛石光學(xué)可以輕松承受FEL X射線束的極duan強(qiáng)度,從而緩解FEL實(shí)驗(yàn)中的這一瓶頸。
目前,XRnanotech已為X射線廣泛應(yīng)用提供多種光學(xué)元件:
Zernicke相襯成像應(yīng)用:
相關(guān)文獻(xiàn):
B. R?sner et al. Exploiting atomic layer deposition for fabricating sub-10 nm X-ray lenses Microelectronic Engineering 191 (2018) p. 91
B. R?sner et al. 7 nm spatial resolution in soft x-ray microscopy Microscopy and Microanalysis 24 (2018) p. 270
K. Jefimovs et al. A zone doubling technique to produce ultra-high resolution x-ray optics Physical Review Letters 99 (2007) p. 264801
J. Vila-Comamala et al. Advanced Thin Film Technology for Ultrahigh Resolution X-Ray Microscopy Ultramicroscopy 109 (2009) p. 1360
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I. Mohacsi et al. High efficiency X-ray nanofocusing by multilevel zone plates Journal of Synchrotron Radiation 21 (2014) p. 497
I. Mohacsi et al. Fabrication and characterization of high efficiency double-sided blazed X-ray optics Optics Letters 41 (2016) p. 281
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N. Kujala et al. Characterizing transmissive diamond gratings as beam splitter for hard X-ray singleshot spectrometer of European XFEL Journal of Synchrotron Radiation 26 (2019) p. 708
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