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MEMS壓力傳感器在工業氣動控制系統的應用

智芯傳感 ? 來源:智芯傳感 ? 作者:智芯傳感 ? 2022-07-25 10:28 ? 次閱讀

工業制造領域,氣動技術是實現生產自動化和自動化控制的重要工程技術之一。其基本原理是:以空氣壓縮機為動力源,以壓縮空氣為系統的工作介質,進行能量傳遞或信號傳遞的工程技術,在汽車制造、工業機器人、航空航天、電子/半導體、包裝機械等方面有著廣泛的應用。

poYBAGDYdXCAWkKMAAAAK8RNs4s030.png氣動控制系統由氣源系統、信號輸入元件、信號處理元件、信號控制元件和執行元件等部分組成。與其他的控制和傳動方式(如機械、電氣、液壓等)相比,氣動控制有著顯著的優勢。例如,氣動系統結構及安裝簡單,后期維護成本低;壓力等級低,使用安全;不污染環境,成本很低;氣動執行元件的運動速度和輸出力的大小容易調節,可在短時間內釋放能量,能迅速響應間歇運動,較強的適應沖擊負載和過載;氣動元器件已標準化、集成化、模塊化,可靠性高,使用壽命長;全氣動控制具有在極端條件下防止爆炸、防范火災、抗潮的能力,可抵抗強磁干擾,且在高溫等惡劣環境下也能正常工作。

poYBAGDYdXCAWkKMAAAAK8RNs4s030.png隨著工業生產自動化程度越來越高,對自動化控制系統的可靠性、精確性要求也在不斷提升,這些推動著氣動技術的創新和發展。現今,氣動系統中的能量節約和使用氣、電驅動組合的機電一體化,以及微機電系統(MEMS)集成化已經成為氣動技術新的發展趨勢。在工業氣動控制系統中,檢測位置、速度、顏色、壓力、溫度、氣流等非電量都是需要MEMS傳感器將相關變量轉變成電信號,并實現自動化操作。

01汽車制造行業

現代汽車制造生產線大部分都采用氣動技術,特別是在焊接生產線上,各車身按照加工工序移動,車身外殼由真空吸盤吸取后加緊、定位和放置以及焊接槍的趨緊、減速和著陸后的焊點控制等都采用了各種功能的氣動執行元件和相應的氣動控制系統;

02家電、電子產品制造業

現在各種型號、功能的氣動執行元件被廣泛應用于冰箱、彩電等家電的裝配生產線和大規模半導體器件、集成電路芯片封裝的生產流水線上。特別是很多精密的真空吸盤將人工難以抓取的器件抓取,精確的運送到指定位置。這些生產工藝都是由氣動控制系統實現的;

03包裝自動化

利用氣動技術可以實現塊狀、粉狀甚至液體等產品智能計量包裝,被越來越多的應用于食品、藥品、化工、化肥等許多自動化加工行業;

04生產自動化

在自行車、手表、洗衣機等許多行業的零件加工和產品組裝生產線上,工件在生產線上的許多操作工序中都使用氣動技術自動完成。氣動噴氣織布機、印刷機械、自動清洗機、塑料產品生產線等也都使用氣動技術,有效的減輕了繁重、單調的人力勞動。

北京智芯傳感科技有限公司(簡稱:智芯傳感)的ZXP3表壓壓力傳感器,就是一款適用于工業氣動控制的MEMS傳感器。其核心采用的MEMS壓阻式芯體和專用信號調理電路。信號調理芯片能夠對MEMS壓阻芯體的溫度線性度 、零偏和靈敏度進行數字補償 ,且信號調理芯片包含一個24-bit的Σ-Δ ADC,保證了高精度的數字壓力信號輸出。該傳感器將MEMS壓阻式芯體和專用信號調理電路封裝在單氣嘴結構的管殼內,降低環境對輸出的影響,采用符合業界JEDEC標準的帶單垂直氣柱SOP6封裝,更適用于在印刷電路板上貼片安裝。

poYBAGDYdXCAWkKMAAAAK8RNs4s030.png智芯傳感ZXP3壓力傳感器不僅適用于工業氣動控制,還在醫療設備、家用電器、消費電子、空調應用等領域均有廣泛應用,已與國內多家知名上市公司展開合作,并且由于其獨特的寬量程、寬溫域、高精度和高穩定性等優勢,獲得了客戶的高度認可。

審核編輯:湯梓紅

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