為什么要做這個(gè)測(cè)試？Why do this test?

量熱式流量傳感器通常根據(jù)特定介質(zhì)進(jìn)行調(diào)整，因?yàn)闇y(cè)量值受氣體的熱導(dǎo)率和容量的影響。因此，每種氣體都需要一個(gè)專門校準(zhǔn)的傳感器。結(jié)合用于清潔氣體檢測(cè)或二元?dú)怏w混合物濃度測(cè)定的密度測(cè)量，可以在過程運(yùn)行時(shí)靈活分配校準(zhǔn)數(shù)據(jù)和校正因子。這意味著，無論清潔氣體或混合物的混合比如何，始終計(jì)算正確的流量值，并且該測(cè)量點(diǎn)只需要一種傳感器。

什么是眨眼之見？ What is a wink of Knowledge?

你需要快速測(cè)量、繪制或做某事嗎？取得結(jié)果的速度比完美的（科學(xué)的）方法更重要。為此，我們介紹了眨眼之見。也就是說，驗(yàn)證科學(xué)就在眨眼之間。我們不想以科學(xué)的方式證明任何事情，而是迅速地以務(wù)實(shí)的方式證明一些事情。如果您感興趣，我們很樂意與您進(jìn)行更詳細(xì)的探討。

結(jié)果 Result

在圖 1 中，原始流量值以藍(lán)色繪制在右側(cè)軸上，校正后的體積流量以橙色繪制在左側(cè)軸上。藍(lán)色線性擬合清楚地顯示了 CO2 和 N2 的不同熱參數(shù)如何在沒有密度或濃度校正的情況下偽造確定的測(cè)量值。然而，通過添加在線密度測(cè)量，流量可以被校正到設(shè)定的100 sccm的大約2%以內(nèi)，如橙色的線性擬合所示。結(jié)果表明：虹科氣體密度傳感器DGF-I1和IST流量傳感器SFS01的組合，可以準(zhǔn)確地測(cè)定混合氣體的流速，而與混合氣體的濃度比無關(guān)。（詳情可以聯(lián)系：https://t.dustess.com/SpBl5MA7）

除了已知?dú)怏w成分的二元?dú)怏w混合物外，該原理還可以擴(kuò)展到在不同密度的氣體之間切換。使用清潔氣體檢測(cè)系統(tǒng)，可以選擇適當(dāng)?shù)男?zhǔn)數(shù)據(jù)或校正因子，并實(shí)時(shí)校正測(cè)量值。這樣就有可能實(shí)現(xiàn)靈活的、性價(jià)比更高的流量測(cè)量，并具有熱測(cè)量原理的所有優(yōu)點(diǎn)：

長(zhǎng)期穩(wěn)定抗振測(cè)量

緊湊設(shè)計(jì)

響應(yīng)時(shí)間特別快（<10 毫秒），適用于過程控制

包括方向檢測(cè)在內(nèi)的最低流速的高靈敏度

潔凈氣體檢測(cè)

多參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)（流量、密度、壓力、溫度）

微泄漏監(jiān)測(cè)

圖1：校正流量與原始流量的比較

實(shí)驗(yàn)裝置 Experimental device

圖2為實(shí)驗(yàn)站的設(shè)置。使用并聯(lián)的熱質(zhì)量流量控制器 (MFC 1-5) 設(shè)置各種純氣體和氣體混合物的所需流速值。每個(gè)質(zhì)量流量控制器都校準(zhǔn)到相應(yīng)的清潔氣體，這意味著可以精確控制混合比。然后氣體混合物流過兩個(gè)串聯(lián)的密度和流量傳感器。（詳情可以聯(lián)系：https://t.dustess.com/SpBl5MA7）

流量傳感器的 I2C 測(cè)量信號(hào)直接傳輸?shù)綒怏w密度傳感器，通過測(cè)得的密度和濃度來計(jì)算原始值和校正因子。將得到的流量測(cè)量值與氣體混合器的設(shè)定目標(biāo)值進(jìn)行比較，以驗(yàn)證原型的功能。

圖2：實(shí)驗(yàn)裝置

使用了哪些傳感器？Which sensors are used?

氣體密度傳感器HK-DGF-i1

流量傳感器SFS01

審核編輯 黃昊宇