隨著科學技術與工業的飛速發展，對精密測量儀器的分辨率、精度和穩定性要求也越來越高。超精密電容測微儀作為一種非接觸式精密測量儀器，具有溫度穩定性好、測量精度高、動態響應好、結構簡單、穩定可靠、使用方便，并可實現非接觸測量等一系列優點。目前，電容測微儀廣泛應用于航天、航空、汽車、機床、光學器件加工、半導體及其它工業測控領域，主要用來測量各種介質的薄膜厚度、金屬形變、微小位移、微小孔徑及各種截面的形狀誤差等。

作為高精度運動控制系統的領導者，為了滿足各行業對納米級位移的實現和檢測的要求，芯明天特研發設計電容式傳感器，現國產自研超精密電容式傳感器正式面市!

電容測微儀的優點

·穩定性好

電容式傳感器的電容值通常與電極材料無關，且介質損耗小，本身發熱小，因此穩定性非常好。

·結構簡單，適應性強

電容式傳感器結構簡單，待測體是導體或半導體均可,還可在惡劣環境中工作。它體積小巧，可適于空間受限環境中的應用。它也可工作在高低溫、強輻射及強磁場等惡劣的環境中，也能對帶有磁性的工件進行測量。

·動態響應好

電容式傳感器可進行上千赫茲的振動測量，在千赫茲以上工作的分辨率仍可達幾十納米。

·非接觸測量

電容式傳感器是非接觸式測量，對被測件不會造成表面摩擦等影響。

除上述優點之外，還因帶電極板間的靜電引力極小，因此電容式傳感器所需輸入能量極小，特別適宜低能量輸入的測量，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，且分辨力非常高，能感受納米甚至亞納米的位移。

電容式傳感器工作原理

電容式傳感器是基于理想平板電容原理設計的，是以空氣為介質，被測物體與傳感器各自作為一個平板電極構成平行板電容。若忽略邊緣效應，其平板電容器的電容為：

式中，ε為極間介質的介電常數，A為兩電極板所覆蓋的有效面積，h為兩電極之間的距離。

當被測運動物體做上、下位移(即h變化)或左、右位移(即A變化)時，將引起電容量的變化，通過測量電路可以將這種電容變化轉換為電壓、電流、頻率等電信號輸出，根據輸出信號的大小，可測定運動物體位移的大小，從而實現了微位移、微小尺寸及振動的測量。

由此可知，若被測物理量的變化使得h、A、ε三個參數中任一個的變化都將引起電容量變化，如果保持其中兩個不變，而僅僅改變其中一個參數，就可以把該參數的變化轉換為電容量的變化，通過測量電路就可以轉化為電壓輸出。

芯明天電容測微儀

芯明天公司專注于納米級精密定位產品的研發、生產和銷售。芯明天為國內外客戶提供精密定位技術解決方案及系列化產品，可實現亞納米級分辨率及納米級定位精度。目前設計研發的電容式傳感器可應用于壓電納米定位產品，同時也有一系列的電容測微儀產品。

芯明天電容傳感器基于平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環電容器原理，在測量時，可保證傳感器仍是線性的。

E09.CAP系列電容非接觸式測微儀，可測量0~500μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多通道測量。

模塊組合

芯明天電容式傳感器的傳感信號采集模塊，采用模塊化設計，每個模塊對應一個電容傳感器，并一對一進行校準標定。

E09.CAP傳感信號采集模塊

該傳感信號采集模塊集成到芯明天標準E01或E00機箱中。其中E01機箱最多可集成6個E09.CAP傳感信號采集模塊，E00機箱可集成12個E09.CAP傳感信號采集模塊。

因此，標準產品電容式測微儀可選擇1至12通道，非常適于使用批量電容傳感器進行測量的應用，如光刻機等。

電容測頭

芯明天該款電容傳感器的測頭，體積非常小巧，外徑僅φ10mm,高為18.5mm。對應待測目標的最小直徑為10mm，為非接觸式測量。

技術參數

E09.CAP系列電容傳感器的基本技術參數如下：

注：更多參數詳情及價格，歡迎咨詢芯明天區域銷售經理。

典型應用

電容式傳感器的高精度使其應用非常廣泛，可用于振動檢測、振幅檢測、變形檢測、精密制造、尺寸檢測、尺寸篩選、位移檢測、絕緣體厚度檢測、材料檢測等。

結語

超精密電容測微儀是一種非接觸式精密測量微小位移、微小振動的儀器，具有溫度穩定性好、測量精度高、動態響應好、結構簡單的優點。

該電容式傳感器的面市，使得芯明天的產品品類又一次的增加，同時，它代表著芯明天向前發展的又一大跨步。未來，芯明天將持續投入并加大研發，為廣大用戶提供更好、更優、更精、更小的納米運動與檢測產品!

若您有電容式傳感器相關應用需求及定制測量設備需求等，歡迎您聯系芯明天公司進一步溝通、了解。

審核編輯：湯梓紅