江蘇微導納米科技股份有限公司，是一家面向全球的高端設備制造商，專注于先進薄膜沉積裝備的開發、設計、生產和服務。微導的業務涵蓋半導體、新能源、柔性電子和納米技術等工業領域。公司以原子層沉積技術為核心，致力于先進微、納米級薄膜沉積技術和設備的研究與產業化應用，為光伏、集成電路、柔性電子等半導體與泛半導體行業提供高端裝備與技術解決方案。

隨著對微處理器和存儲器的計算速度和功率需求的持續增加，同時又降低其功耗和尺寸，使得半導體器件制造經受著越來越大的挑戰。特別是在“后摩爾定律”時代，納米級器件結構需要薄膜的沉積和去除精確控制在原子層級別。原子層沉積(ALD)技術已經衍變成為下一代新型器件制造戰略中的關鍵技術，并使摩爾定律得以進一步延伸。

微導的原子層沉積(ALD)、等離子體原子層沉積(PEALD)技術是原子級薄膜沉積解決方案的關鍵技術，可廣泛用于晶體管、存儲器、圖案化、金屬互連和3D封裝等應用。

微導的龍系列團簇平臺由多個工藝腔與市場先進的商業晶圓自動化系統集群而成，為尖端半導體制造提供原子級薄膜沉積工藝完整的解決方案。

微導龍系列高級ALD薄膜沉積系統專用于200mm、300mm和450mm晶圓工藝的單片量產ALD鍍膜設備。具有熱ALD、等離子體ALD和原子層蝕刻等多種型號，與主流商業自動化團簇平臺集群。自有專利設計的反應器可以沉積多種材料，并確保極限保形和均勻的ALD薄膜沉積。產品具有高度薄膜均勻度、高產能、高可靠性以及高性價比等特點，各項性能指標均超出同類國產化設備，達到國際先進水平。

微導近期喜獲多臺訂單，微導總經理周仁表示：微導自主研發的此類產業化設備完全滿足先進制程對半導體設備性能的嚴格要求，適用于28nm乃至更先進技術節點的制程工藝設備，助力客戶在制程技術要求日趨復雜的背景下從容應對行業挑戰，同時也打破了客戶因國外設備壟斷而導致的發展瓶頸，進而有力推動半導體行業設備的多元化和產業化健康發展。

審核編輯 黃昊宇