上海精測半導體自動晶圓缺陷復檢設備eViewTM雙豐收獻禮國慶！

在舉國歡慶祖國73周年華誕之際，上海精測半導體全自動晶圓缺陷復檢設備eViewTM獲得國內重點客戶認可，性能達到壟斷主要市場的同類國際對標機臺；同時，eViewTM整裝待發，乘風破浪，進駐華南大客戶生產線。上海精測半導體eViewTM以雙豐收碩果為國產半導體設備產業再添豐碑，為祖國生日隆重獻禮！

缺陷檢測是提高芯片制造良率的關鍵技術手段，電子束檢測設備具有超高分辨精度，在集成電路制造過程中發揮著極其重要的作用。然而，該類設備被國外廠商壟斷，嚴重制約了國內芯片制造的深入發展。上海精測半導體自成立以來，由電子光學事業部引領本領域的技術開發，該團隊核心人員絕大部分來自于業界知名企業，積累了大量的實戰經驗，兼具深厚的系統集成及軟硬件開發能力，憑借自身硬實力自主開發出全自動晶圓在線電子束缺陷復檢設備eViewTM，并且擁有核心零部件的完整自主知識產權。該設備主要助力賦能集成電路制程的工藝及芯片良率控制，可在線對晶圓進行超高分辨率缺陷檢測、復查、分析和分類。設備的成功推出，跨越高筑的技術壁壘、打破國外公司的壟斷，在國產半導體設備領域邁出了重要一步，為實現中國芯片制造自主可控這一目標提供強有力的技術支撐。

eViewTM采用全新的電子光學成像和信號探測技術，具有百兆赫茲級高速像素采集速率，可實現高通量電子束掃描成像，并融合基于深度神經網絡的人工智能算法以進行高速、高準確度缺陷自動識別與分類；同時搭配具備超低能量特性的能量色散X射線光譜儀，以實現待檢芯片的元素成份分析，最大限度的為客戶提供完整的納米級缺陷復查和分析解決方案。

自該設備出機到客戶端以來，上海精測半導體秉持精益求精的態度，從未停止創新超越、優化設計步伐。得益于國內多家客戶的高標準、嚴要求，eViewTM精進打磨、日臻完善，檢測性能實現重大升級優化，運行吞吐量穩步提升，目前已通過重點客戶相關產線驗證。驗證結果表明，不論圖像質量，還是檢測能力和吞吐量等各方面，相關主要指標皆能達到壟斷主要市場的同類國際對標機臺的同等水平，從而滿足客戶的嚴苛要求，有效解決我國在電子束檢測領域的關鍵技術難題。由此，憑借自身的性能優勢，eViewTM得到了眾多客戶的認可和青睞，相繼打入國內多家芯片制造商生產線進行驗證，在市場上展露較強的競爭力。

在過去的4年里，上海精測半導體堅守初心、砥礪前行、不斷突破，彰顯了厚積薄發的強大實力，產品現已基本覆蓋半導體前道制程的光學測量、電子光學檢測兩大核心領域，并在進一步拓展，呈現多元化、多場景應用趨勢，為客戶提供多樣化、定制化服務。順應時代發展，響應國家號召，上海精測半導體將堅守核心領域國產替代產業賽道，力爭成為國內領先的半導體檢測設備專業供應商。任重道遠，道阻且長，行則將至，行而不輟，未來可期！