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芯片失效分析的手法介紹

硬件攻城獅 ? 來源:硬件大熊 ? 作者:硬件大熊 ? 2022-11-28 16:19 ? 次閱讀

對于應(yīng)用工程師來說,芯片失效分析是最棘手的問題之一。

之所以棘手,很無奈的一點便是:芯片失效問題通常是在量產(chǎn)階段,甚至是出貨后才開始被真正意識到,此時可能僅有零零散散的幾個失效樣品,但這樣的比例足以讓品質(zhì)部追著研發(fā)工程師進行一個詳盡的原因分析。

對于研發(fā)工程師,在排查完外圍電路、生產(chǎn)工藝制程可能造成的損傷之后,更多的還需要原廠給予支持進行剖片分析。不管芯片是否確實有設(shè)計問題,但出于避免責任糾紛,最終原廠回復(fù)給你的報告中,很可能都是把問題指向了“EOS”損傷,進而需要你排查自己的電路設(shè)計、生產(chǎn)靜電防控。

由于缺乏專業(yè)的分析設(shè)備,芯片內(nèi)部設(shè)計的保密性不可能讓應(yīng)用工程師了解太多,因此對于原廠給予的分析報告,應(yīng)用工程師很多時候其實處于“被動接受”的處境。

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雖然無法了解芯片內(nèi)部的設(shè)計,但其實我們可以了解芯片廠商相關(guān)失效分析手法,至少在提供給你的報告上,該有的失效分析是否是嚴瑾,數(shù)據(jù)是否可靠,你可以做出一定的判斷。

手法一:電子顯微鏡查看表面異常

失效的芯片樣品到了芯片廠商手里后,首先要做的必然是用高放大倍數(shù)的電子顯微鏡,查看芯片表面在物理層面上是否有異常問題,比如裂痕、連錫、霉變等異常現(xiàn)象。

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手法二:XRay查看芯片封裝異常

X射線在穿越不同密度物質(zhì)后光強度會產(chǎn)生變化,在無需破壞待測物的情況下利用其產(chǎn)生的對比效果形成的影像可以顯示出待測物的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。IC封裝中如層剝離、爆裂、空洞、打線等問題都可以用XRay進行完整性檢驗。

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手法三:CSAM掃描聲學顯微鏡

掃描聲學顯微鏡利用高頻超聲波在材料不連續(xù)界面上反射產(chǎn)生的振幅及相位與極性變化來成像,典型的SAM圖像以紅色的警示色表示缺陷所在。

SAM和XRay是一種相互補充的手法,X-Ray對于分層的空氣不敏感,所得出的圖像是樣品厚度的一個合成體,而SAM可以分層展現(xiàn)樣品內(nèi)部一層層的圖像。因此,對于焊接層、填充層、涂覆層等的完整性檢測是SAM的優(yōu)勢。

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手法四:激光誘導(dǎo)定位漏電結(jié)

給IC加上電壓,使其內(nèi)部有微小電流流過,在檢測微電流是否產(chǎn)生變化的同時在芯片表面用激光進行掃描。由于激光束在芯片中部分轉(zhuǎn)化為熱能,因此,如果芯片內(nèi)部存在漏電結(jié),缺陷處溫度將無法正常傳導(dǎo)散開,導(dǎo)致缺陷處溫度累計升高,并進一步引起缺陷處電阻及電流的變化。通過變化區(qū)域與激光束掃描位置的對應(yīng),即可定位出缺陷位置。

該技術(shù)是早年日本NEC發(fā)明并申請的專利技術(shù),叫OBIRCH(加電壓檢測電流變化)。與該分析手法相似的,還有TIVA(加電流檢測電壓變化)、VBA(加電壓檢測電壓變化)。這三種分析手法本質(zhì)相同,只是為了規(guī)避專利侵權(quán)而做的不同檢測方式而已(TIVA為美國技術(shù)專利,VBA為新加坡技術(shù)專利)。

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當然,在進行X-Ray、CASM、OBIRCH之前,可以對每個管腳進行逐漸加電壓并偵測電流曲線是否異常,由此先大概確認是否該管腳有失效的可能性。

如下圖多事,藍色線條為參考電流,所提供的幾個樣品RFVDD管腳電流均有異常。在確認該異常之后,后續(xù)使用X-Ray等儀器時,可以更快速地鎖定缺陷點所在的區(qū)域。

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在使用X-Ray等手法定位缺陷區(qū)域后,最終采用機械剖片、腐蝕液剖片的方法,利用顯微鏡進行最后一輪的圖像物理確認。

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原文標題:芯片失效分析,你可以怎么辦?

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