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季豐新購球差電鏡HITACHI HF5000正式投入運營

上海季豐電子 ? 來源: 上海季豐電子 ? 作者: 上海季豐電子 ? 2022-11-28 19:34 ? 次閱讀

為了更好地滿足客戶對球差透射電鏡的測試需求,季豐電子投資了業界認可的球差場發射透射電子顯微鏡HITACHI HF5000,目前已通過驗證,正式投入運營。 TEM是芯片工程物理失效分析的終極利器,以其無以倫比的分辨能力,提供最細致深入的材料和工藝的異常分析。

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(HITACHI HF5000)

HF5000是日立新的200kV球差校正場發射透射電鏡,采用冷場發射電子槍和全自動化的球差校正技術,在保證亞埃級超高分辨率的同時大大簡化操作,實現高分辨觀察與易用性的結合。TEM晶格像分辨率達到0.102nm,STEM分辨率0.078nm,搭配高端Helios 5系列FIB系統可以制備、觀察厚度在20nm以下的超薄樣品。4k × 4k 16M Gatan相機可在 64 位平臺上提供大視場、高靈敏度快速成像。

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Si(211)單晶體HAADF-STEM圖像(左)和圖像強度曲線分布(右下)、FFT功率譜(右上)

此外TEM配備了對稱布置的雙100 mm2 高立體角能譜檢測器( “Dual SDD”),以最大限度提高分析通量,可對材料表面微區成分以及膜層結構進行面、線、點分布的定性和半定量分析。 季豐電子實驗室擁有多位經驗豐富的電鏡工程師,熟悉各種半導體樣品、薄膜樣品、金屬樣品等,為客戶提供準確、高質量的分析結果,歡迎新老用戶前來咨詢、委案。

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原文標題:季豐新購球差電鏡HITACHI HF5000正式投入運營

文章出處:【微信號:zzz9970814,微信公眾號:上海季豐電子】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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