HBM靜電測試機尾波的危害
1.HBM(Human Body Model) 驗證測試已經成為IC 防靜電等級的必測項目，一般是直接委外第三方實驗室進行驗證，但卻不知道自己的IC用的靜電測試機是否合適，是否會有問題，科普一個名詞叫ESD尾波(Trailing pulse)如圖(1)，其主要原因是水銀繼電器在高壓切換的過程中會產生離子化并在開關完全閉合前產生跳火現象如圖(2)，這就產生了當靜電波形主波放電后產生了第二波形的輸出。
(圖1)
(圖2)
2.此尾波在一般的校準中難以發現，比如終端短路電流波形或負載500Ω放電波形均難以發現，需要在終端并聯10K ohm電阻和齊納二極管(zener diode)才能抓取到，如圖(3)，此尾波特點經圖(1)可以看出能量相對較高，時間較長。隨著集成電路的越來越高制程，很多IC很大可能會被此尾波造成失效而非抗靜電能力差。
(圖3)
3.市面上的靜電測試機，有此Bug 的一般是90年代之前的設備。目前比較主流的靜電測試機MK2/MK4 均已對此Bug修正到標準范圍內，實際波形如圖(4)，季豐電子所有的ESD認證實驗室(上海、杭州、深圳、成都、北京)配套的全部是最新的系列MK2/MK4如圖(5)，請放心使用。
圖(4)
審核編輯：湯梓紅
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原文標題：HBM 靜電測試機尾波的危害
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