近日,電子科技大學(xué)王曾暉團隊與肖旭團隊合作報道了基于MXene材料Ti3C2Tx二維晶體的納米機電諧振器,成功測定了此類二維材料的彈性模量,闡明了此類器件的頻率設(shè)計及調(diào)控規(guī)律,并展示了其作為真空壓強傳感器的應(yīng)用潛力。相關(guān)論文以Electrically Tunable MXene Nanomechanical Resonators Vibrating at Very High Frequencies為題發(fā)表于學(xué)術(shù)期刊ACS Nano。
過渡金屬炭氮氧化物(MXene)是一類已被廣泛應(yīng)用于儲能、催化等領(lǐng)域的二維無機化合物。其中,Ti3C2Tx是最早被制備和研究的MXene材料之一,對其各類材料性質(zhì)和應(yīng)用已有很多研究。目前,在絕大多數(shù)MXene器件研究中,MXene材料都是以薄膜或者材料添加物的形態(tài)出現(xiàn);在少數(shù)涉及二維晶體的器件研究中,MXene也是作為導(dǎo)電材料,用于和其他的二維半導(dǎo)體實現(xiàn)電學(xué)接觸。相比之下,基于二維MXene晶體的器件研究則少得多,而同時發(fā)掘MXene晶體中多項材料特性(如電學(xué)+力學(xué))的器件研究則更為罕見。
針對這一現(xiàn)狀,電子科技大學(xué)的研究者們探索并實現(xiàn)了基于二維MXene晶體的納米機電諧振器,利用材料的導(dǎo)電特性首次同時實現(xiàn)了此類器件的諧振激勵和頻率調(diào)控,并通過力學(xué)分析成功測定了二維Ti3C2Tx晶體的彈性模量。研究者們從調(diào)整材料合成方法和材料形貌出發(fā),有針對性地改進了傳統(tǒng)二維納機電諧振器的制備方法,成功實現(xiàn)了厚度從多層(>50)到少層再一直到單層的MXene納米機電諧振器制備。基于自主搭建的二維微納機電諧振器精密測量系統(tǒng),研究者們大幅優(yōu)化了信號耦合途徑,利用光學(xué)干涉的方法成功觀測到了二維Ti3C2Tx納機電諧振器在受布朗熱運動激勵下自發(fā)產(chǎn)生的熱機械振動,清晰地檢測到了幅度低達52 fm/√Hz的振動信號。在此基礎(chǔ)上,研究者們分別通過光熱效應(yīng)和靜電力驅(qū)動實現(xiàn)了對二維Ti3C2Tx機電諧振器的激勵,并測定其諧振響應(yīng),發(fā)現(xiàn)此類器件的基頻諧振頻率可高達甚高頻(VHF)頻段。
基于二維MXene晶體的納米機電諧振器及其頻率設(shè)計規(guī)律
進一步,研究者們對二維Ti3C2Tx納米機電諧振器諧振頻率受氣壓調(diào)控的變化規(guī)律進行了探索,驗證了此類器件作為真空環(huán)境下壓強傳感器的可行性,并實現(xiàn)了高達736%/Torr的壓強響應(yīng)度和低至1.65×10?? Torr的工作壓強下限。此外,為了深入探索二維Ti3C2Tx的機械特性,研究者通過大量測試不同尺寸的器件,建立起了器件基模諧振頻率與直徑、厚度的完整關(guān)系,進而確定了Ti3C2Tx材料的楊氏模量范圍(270~360 GPa),闡明了二維Ti3C2Tx諧振器的頻率設(shè)計規(guī)律,為后續(xù)二維Ti3C2Tx機電器件設(shè)計提供了有力參考。
審核編輯:郭婷
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原文標題:工作于甚高頻的MXene納米機電諧振器和真空壓強傳感器
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