芯明天公司專業研發、設計、加工及生產壓電偏轉鏡達16年之久，具有著非常豐富的壓電偏轉鏡設計及生產經驗，為用戶解決了各種參數及使用環境的問題。

今天為大家帶來一款高性能、高可靠、工業級及宇航級的S37系列壓電偏轉鏡。

壓電偏轉鏡是芯明天壓電運動系列產品之一，它可產生一維或多維偏轉運動，例如在θx、θy軸的快速偏轉運動，它廣泛應用于光通信、穩像、光路調節、激光加工、激光合束等領域。

S37系列壓電偏轉鏡具有T2、T3、T4、T5、T6、T8等多個版本，行程依次增大，從2.5mrad至13.5mrad。S37.T8壓電偏轉鏡具有13.5mrad的偏轉行程范圍，因其抗振設計，使得它的可靠性及動態性也非常優秀，這很好的解決了壓電偏轉鏡大行程下動態性低的問題。

特點

? 高可靠性

? 抗振加固

? 全閉環高精度

? 開/閉環可選

? 工業級/軍品級/宇航級

應用舉例

? 圖像處理/穩定 ? 隔行掃描，抖動

? 光過濾/開關 ? 掃描顯微等

? 激光掃描/光束偏轉與穩定 ? 光學

一般情況下，外形直徑相同時，行程越大的壓電偏轉鏡，它的長度越長。而在長度增加的基礎上，壓電偏轉鏡的可靠性將隨之降低。但目前很多應用對壓電偏轉鏡的可靠性要求越來越高，很多標準品已不能滿足應用要求。為解決此問題，芯明天采用抗震加固、全閉環的方式，以達到最優化的可靠性及精度，并且通過了第三方的抗振實驗測試。

S37系列壓電偏轉鏡的功能是帶動反射鏡產生快速偏轉運動，偏轉響應速度可達毫秒量級，偏轉精度在納弧度量級，這是普通的振鏡、音圈電機所達不到的。這些特點使其非常適用于完成光路的快速轉向調節。

結構原理

S37系列壓電偏轉鏡可產生θx、θy二維偏轉運動，它是基于平行運動學設計，具有共面軸及移動面。四個執行機構為四支壓電促動器，以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供最高可實現的角度穩定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現，采用橋式連接電路控制。

全閉環，更高精度

在執行驅動結構的合適位置采用絕對測量的傳感器來得到高穩定性及定位精度，他們提供了較高的帶寬并向控制器反饋代表位置信息的電信號，傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優質的穩定性。

電壓與位移曲線舉例

S37.T5S閉環位移曲線

S37.T8K開環位移曲線

技術參數

S37.T2、S37.T3技術參數

S37.T4、S37.T5技術參數

S37.T6、S37.T8技術參數

第三方環境試驗報告

芯明天S37系列壓電偏轉鏡通過了第三方進行的環境試驗報告，包括S37系列中位移最大、體積最長的S37.T8S/K壓電偏轉鏡，充分證明了S37系列壓電偏轉鏡的高可靠性、高抗振能力。

壓電偏轉鏡應用舉例

?衛星激光通信

壓電偏轉鏡主要作用是用于帶載鏡片做偏轉運動，它的應用是以對光的方向進行調節為主。壓電偏轉鏡的一個突出優點是角度調節精度非常高，可小于0.01"。既然偏轉角度小且偏轉運動精度高，則它就非常適于較長距離的光傳輸方向的調節，例如衛星激光通信。衛星與地面間的信號傳輸通信是很難做到的，原因是光束的發散角很小，非常不易對準，因此衛星激光通信就需要非常高精度的瞄準系統。

對于目前火熱的星鏈建設，一樣需要壓電偏轉鏡完成光路的精確對準。

? 光路穩定系統

光在傳輸過程中，會因外界各種干擾或環境因素等造成光路的不穩，這對于光通信或成像等應用是非常不利的。為了消除或補償這種光路的不穩或偏差，可通過芯明天壓電偏轉鏡進行快速、高精度的調節與補償。在極短時間內完成光路偏轉調節，是壓電偏轉鏡得以成功應用的必不可少的因素之一。

芯明天也可為科研型用戶提供激光穩定實驗的整個激光穩定系統，包括激光器、壓電偏轉鏡及控制系統、PSD位置信號探測器、分光片、光機械等。

基本原理為激光器發出的光束經過干擾用壓電偏轉鏡及補償用壓電偏轉鏡反射后，被PSD光信號位置傳感器接收，并反饋給補償用壓電偏轉鏡控制器，通過其內部偏差比較電路的計算，輸出補償電壓，驅動補償用壓電偏轉鏡進行角度調整，將干擾信號進行補償、衰減。

芯明天壓電偏轉鏡在X向或Y向150微米、10Hz干擾信號下，經過閉環補償后，干擾信號可減小至5微米以下。

? 光學成像系統

在光學成像過程中，由于平臺振動和姿態隨機擾動等各種影響因素都會使相機光軸偏移，使目標與焦面相對運動，在焦面上產生像移，從而會造成成像模糊問題。例如，在地面天文觀測中，由于大氣湍流和望遠鏡的抖動等原因也會造成望遠鏡焦平面圖像的隨機抖動，極大地降低了望遠鏡的空間分辨率。

抑制光束抖動的最有效方案是利用捕獲、跟蹤和瞄準（ATP）系統中的精跟蹤環進行補償，壓電偏轉系統因其穩定性好、能量耗損小、鏡面反射率高、偏轉分辨率高、偏轉速度快等特點成為首選的執行機構。

? 快速激光加工

對于加工孔徑及孔距精度要求非常高，例如幾微米至幾百微米的孔徑、幾十微米的孔距等，利用芯明天壓電偏轉鏡對激光的精確方向控制及它的快速響應速度等特性，可以徹底解決微小孔加工精度低、孔徑不圓滑等問題。

在涉及到微米級小孔的超快激光加工應用中集成壓電偏轉鏡，具有加工精度高、加工速度快等特點。已廣泛應用于航天器件微小孔加工、異形孔加工等領域。

審核編輯黃宇