在3月初舉辦的2023年中國MEMS制造大會（China MEMS 2023）上，公布了“2021中國MEMS十強企業”名單。該名單由中國半導體行業協會根據行業季度統計報表及各地方協會統計數據評選出。

今天我們就借用智慧芽研發情報庫，從技術研發的角度分析下這十家中國MEMS頭部企業各自的技術發展路線。（文章內企業排名不分先后）

一、歌爾微電子股份有限公司

歌爾微電子成立于2017年，前身為歌爾股份有限公司微電子事業群，2021年變更為歌爾微電子股份有限公司。該公司是一家以MEMS器件及微系統模組研發、生產與銷售為主的半導體公司，業務涵蓋芯片設計、產品開發、封裝測試和系統應用等產業鏈關鍵環節，可為客戶提供“芯片+器件+模組”的一站式產品解決方案。

從技術上看，歌爾微電子近幾年的技術主要布局于傳感器、麥克風、壓電陶瓷、聲能轉換等細分技術領域，致力于提高MEMS麥克風信噪比、改善MEMS麥克風聲學性能、實現MEMS麥克風定位功能等。

二、瑞聲聲學科技（深圳）有限公司

瑞聲科技成立于1993年，在聲學、光學、觸感、傳感器及半導體、精密制造等領域擁有強大的綜合競爭力，致力于為智能設備提供領先的微型專有技術解決方案，在聲學、光學、觸覺反饋、精密制造、微機電、無線射頻和天線領域擁有材料研發、仿真、算法、設計、自動化以及工藝開發等尖端技術。

從技術上看，瑞聲科技近幾年的技術主要布局于電聲轉換、麥克風、發聲器件、揚聲器等細分技術領域，致力于提高麥克風靈敏度、提升發聲器件聲學性能、提高麥克風可靠性等。

三、河北美泰電子科技有限公司

美泰科技成立于2011年，隸屬于大型央企中國電科，致力于MEMS器件與系統的研發、生產和銷售。該公司擁有國際先進的6英寸MEMS工藝線和世界領先的產品測試標定設備，是國內最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統產品供應商。旗下產品覆蓋MEMS慣性器件與系統、MEMS測試測量傳感器、汽車MEMS傳感器、射頻（RF）MEMS器件等。

從技術上看，美泰科技近幾年的技術主要布局于傳感器、氣體流量測量儀器、溫壓復合傳感器、壓力傳感器等細分技術領域，致力于致使標定時操作簡單高效、提高MEMS流量傳感器的穩定性和可靠性、增加MEMS流量傳感器厚度等。

四、美新半導體有限公司

美新半導體（MEMSIC）成立于1999年，是中國最早的IDM模式慣性傳感器供應商之一，于2007年在美國納斯達克上市，被譽為全球MEMS第一股。美新半導體致力于提供從MEMS傳感芯片、軟件算法和應用方案的一站式解決方案，擁有熱式加速度計、電容式加速度計、AMR地磁傳感器、低功耗霍爾開關和六軸IMU等產品。

從技術上看，美新半導體近幾年的技術主要布局于半導體封裝、集成式傳感器、磁場傳感器、微機電系統器件測試等細分技術領域，致力于提高三軸陀螺儀集成度、使三軸陀螺儀結構整體合理緊湊、提高器件可靠性等。

五、上海矽睿科技股份有限公司

矽睿科技成立于2012年，專注于高質量傳感器產品的設計、制造、以及增值應用與服務，致力于成為以應用為導向的多傳感器平臺。該公司產品包括多款MEMS傳感器，如六軸IMU、加速度計、環境傳感器、組合傳感器等；磁性傳感器芯片，如磁力計、磁編碼器、電流傳感器、霍爾傳感器等；及汽車與物聯網智能模組和系統。

從技術上看，矽睿科技近幾年的技術主要布局于半導體工藝、電子通訊、磁傳感、健康監測等細分技術領域，致力于提高第三軸靈敏度、增強第三軸感應能力、提高磁傳感裝置感應能力及靈敏度等。

六、華潤微集成電路有限公司

華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，已成為華潤集團旗下負責微電子業務投資、發展和經營管理的高科技企業。該公司產品聚焦于功率半導體、智能傳感器領域，擁有芯片設計、晶圓制造、封裝測試等全產業鏈一體化運營能力在分立器件及集成電路領域均已具備較強的產品技術與制造工藝能力，形成了先進的特色工藝和系列化的產品線。

從技術上看，華潤微電子近幾年的技術主要布局于集成電路設計、無線充電、通信、恒流驅動電源等細分技術領域，致力于提高電路可靠性、減小芯片面積、降低芯片成本等。

七、蘇州敏芯微電子技術股份有限公司

敏芯股份成立于2007年，于2020年8月登陸上海證券交易所科創板，為中國MEMS芯片第一股。該公司是一家專業從事微電子機械系統傳感器研發設計的高新技術企業，主導推動了中國MEMS產業鏈構建。敏芯作為中國最早成立的MEMS研發公司之一，現已擁有完整的芯片設計、晶圓制造、封裝與測試等全產業鏈的自主研發設計能力。

從技術上看，敏芯股份近幾年的技術主要布局于傳感器、半導體器件制造、麥克風、感測等細分技術領域，致力于提高器件良率和可靠性、提高壓力傳感器靈敏度、提高硅麥克風靈敏度和信噪比等。

八、杭州士蘭微電子股份有限公司

士蘭微成立于1997年，是國內規模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業之一。2003年，士蘭微股票在上海證券交易所掛牌交易，是第一家在中國境內上市的集成電路芯片設計企業。該公司在多個技術領域保持了國內領先的地位，如綠色電源芯片技術、MEMS傳感器技術、LED照明和屏顯技術、高壓智能功率模塊技術、第三代功率半導體器件技術、數字音視頻技術等。

從技術上看，士蘭微近幾年的技術主要布局于開關電源、半導體制造、光源控制、微麥克風等細分技術領域，致力于提高器件可靠性、避免MEMS麥克風可靠性下降、提高器件耐壓特性等。

九、西人馬聯合測控（泉州）科技有限公司

西人馬聯合測控成立于2017年，采用IDM經營模式，目前生產落地于福建6英寸FAB廠，擁有先進的MEMS / IC等硅基芯片以及非硅基芯片的設計、制造、封測能力。基于這些先進的核心技術，西人馬致力于運用先進的芯片、傳感器、智能數據采集模組提供產品和服務，立志成為A-IoT時代的科技引領者和全球最具價值的A-IoT基礎設施供應商。

從技術上看，西人馬近幾年的技術主要布局于傳感器、半導體器件測試、半導體封裝、發光二極管等細分技術領域，致力于提高電荷輸出元件靈敏度、提高結構接觸剛度、提高監測精度等。

十、蘇州納芯微電子股份有限公司

納芯微電子成立于2013年，是高性能高可靠性模擬芯片的研發設計企業，致力于為數字世界和現實世界的連接提供芯片級解決方案。2022年，納芯微電子于上海證券交易所科創板上市。該公司聚焦于信號感知、系統互聯、功率驅動三大方向，提供傳感器、信號鏈、隔離、接口、功率驅動、電源管理等豐富的半導體產品及解決方案。

從技術上看，納芯微電子近幾年的技術主要布局于傳感器、電子電路、測試測量、磁場感測等細分技術領域，致力于降低芯片功耗、提高電路可靠性、降低校準成本等。

注：技術路線圖由智慧芽研發情報庫生成，主要呈現該企業的代表性技術成果，不代表企業全部技術能力。

審核編輯 黃宇