智能檢測有兩大優勢：一是更智能、更精細、更高效；二是人力成本更低。生產線智能化將是制造業轉型升級的重要發展趨勢，智能檢測技術也將廣泛應用于工業自動化、航天、電子等行業。

2023年2月23日，工業和信息化部、國家發展和改革委員會等七個部門聯合發布《智能檢測裝備產業發展行動計劃(2023-2025年)》中提到，“智能檢測裝備作為智能制造的核心裝備，是“工業六基”的重要組成和產業基礎高級化的重要領域，對支撐制造強國、質量強國和數字中國建設具有重要意義。”針對我國智能檢測裝備產業仍存在技術基礎薄弱、創新能力不強、高端供給不足等問題，中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎，集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊，勇于創新，著力突破從微納米到百米測量的核心技術，堅持高質量出品，增強高端供給，打造質量強國。

勇于創新|中圖智能精密測量儀器著力突破核心技術，增強高端供給

1、融合創新檢測技術、新型制造工藝與前沿科技領域基礎理論，研發生產一批前沿智能精密測量檢測裝備。

納米級精密測量儀器

VT6000共聚焦顯微鏡

VT6000共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學檢測儀器。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光干涉儀

SuperViewW1白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的光學檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

百米級精密測量儀器

GTS激光跟蹤儀

GTS激光跟蹤儀主要用于百米大尺度空間三維坐標的精密測量，集激光干涉測距技術、光電檢測技術、精密機械技術、計算機及控制技術、現代數值計算理論于一體，在大尺度空間測量工業科學儀器中具有高精度和重要性，是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。激光跟蹤儀可用于尺寸測量、安裝、定位、校正和逆向工程等應用，是功能強大的計量檢測工具。廣泛應用在各種大尺度空間精密測量領域，如在航空航天領域對飛機零部件及裝配精度的測量；在機床行業中對機床平面度、直線度、圓柱度等的測量；在汽車制造中對車型的在線測量；在高端制造中對運動機器人位置的精確標定。此外，激光跟蹤儀還可以廣泛應用到造船、軌道交通、核電等先進制造各個領域。

2、融合新技術，通過工程化攻關，升級換代一批應用面廣的通用智能精密測量檢測裝備。

Hybrid系列復合式閃測儀

Hybrid系列復合式閃測儀是一種先進的全自動影像測量儀，基于大理石主體機臺和精密伺服控制系統，采用電動變倍鏡頭和大視場雙遠心鏡頭的混合架構，充分發揮光學電動變倍鏡頭的高精度優勢和大視場雙遠心鏡頭的效率優勢，能實現精度和效率的優化組合測量。

Novator系列全自動影像儀

Novator系列全自動影像儀將傳統影像測量與激光測量掃描技術相結合，能實現2.5D和3D復合測量。還支持頻閃照明和飛拍功能，可進行高速測量，大幅提升測量效率；具有可獨立升降和可更換RGB光源，可適應更多復雜工件表面。創新支持多種測量新特性、新功能。

Mars Classic三坐標測量機

移動橋式的三坐標測量機結構特點是開敞性好，視野開闊，上下零件方便，運動速度快，精度高。配備高精度的導軌、測頭和控制系統，并結合計算機程序來自動控制檢測流程，從而計算輸出測量結果，支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉臺等，能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。可用于機械制造、汽車工業、電子工業、航空航天工業以及計量檢測等領域，是現代工業檢測和質量控制的重要檢測設備。

3、融合新原理、新材料、新工藝，研制開發一批專用智能精密測量檢測裝備。加強新興領域專用檢測裝備研制。

WD4000晶圓幾何形貌測量系統

WD4000晶圓幾何形貌測量系統可以在一個測量系統中自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、微納三維形貌。使用光譜共焦技術測量晶圓厚度、TTV、BOW、 WARP等參數，同時生成Mapping圖；采用白光干涉測量技術對Wafer表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像，顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖，高效分析表面的2D、3D參數。可廣泛應用于Wafer制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業。

有圖晶圓關鍵尺寸及套刻量測系統

有圖晶圓關鍵尺寸及套刻量測系統是一款集成高精度平面尺寸檢測和亞納米級表面3D形貌測量的光學檢測儀器，同時滿足大范圍多區域的高精度全自動檢測，優異的重復性及效率有效減少人為誤差及人員投入。可廣泛應用于芯片、半導體制造及封裝工藝檢測、精密配件、光學加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，能夠對芯片Z向實現微納尺度的3D掃描和重建，精確測量表面的高度輪廓尺寸；全自動上下料平臺，配置掃描槍，高效實現產線全自動化生產。

4、強化人才培養

中圖儀器攜手深圳職業技術學院，共同培養集成電路創新型技術技能人才。雙方就校企聯合開發、人才培養、實訓基地等方面進行了深入的交流并達成初步合作共識，2023年2月20-24日，第一批精英實訓班圓滿結課。

中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎，擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊。歷經20年的技術積累和發展實踐，研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。

未來，中圖儀器仍將繼續專注于精密測量檢測技術的發展，自強不息、知難而上、勇于創新，為中國制造技術的快速發展貢獻力量！

審核編輯黃宇