對于晶圓加工的各個環(huán)節(jié)而言，清洗工藝都是必不可少的基本工序，隨著芯片制造工藝先進程度的持續(xù)提升，對晶圓表面污染物的控制要求也在不斷提高，清洗工序也不斷向精細化發(fā)展，而對清洗設(shè)備的需求也在相應(yīng)增加。

據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)預(yù)測，到2025年，中國在半導(dǎo)體行業(yè)的設(shè)備采購將達到345億美元，占全球三分之一，其中FOUP盒清洗設(shè)備采購占有很大比例，而目前國內(nèi)品牌在這一領(lǐng)域還幾乎處于空白狀態(tài)，主要依靠美系和日系產(chǎn)品，可以說國內(nèi)的FOUP盒清潔設(shè)備還是一片藍海。面對巨大的機遇與挑戰(zhàn)，首年科技（深圳）有限公司（以下簡稱“首年科技”）迎難而上，開發(fā)了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的FOUP盒清潔設(shè)備，填補了國內(nèi)行業(yè)空白。

據(jù)了解，首年科技（深圳）有限公司是一家專注于自動化系統(tǒng)集成技術(shù)設(shè)計及開發(fā)的企業(yè)，團隊核心骨干均來自臺灣，擁有深厚的行業(yè)背景和經(jīng)驗。目前，首年科技已成功開發(fā)出一款成熟的FOUP盒清潔設(shè)備：首年SN830，該設(shè)備采用的技術(shù)是國內(nèi)廠商第一次自主開發(fā)與應(yīng)用的，領(lǐng)先國內(nèi)同行5-8年，已達到歐美國際領(lǐng)先水準(zhǔn)，得到了行業(yè)內(nèi)外的肯定。

首年SN830運用離心清洗和紅外線干燥控制技術(shù)，采用超純水(DIWATER)噴淋，搭配離心式，快中波紅外線，CDA、N2噴氣烘干等技術(shù)；結(jié)合獨家軟件控制、獨特的抗震設(shè)計及獨特針對超純水搭配的快中波段石英烘干燈管等設(shè)計，使設(shè)備能達到高端納米級清洗制程要求，且兼顧節(jié)能與環(huán)保，清洗潔凈度可達Class 10（0.5um塵物數(shù)量小于10）。

目前，首年科技的這款設(shè)備已通過SEMI協(xié)會和SGS機構(gòu)認證。SEMI標(biāo)準(zhǔn)是主流芯片制造商引進機臺設(shè)備的判定的安全標(biāo)準(zhǔn)，已成為國際通行并被產(chǎn)業(yè)鏈廣泛認可的通行證。能夠獲得SEMI的認證，無疑證明首年科技的產(chǎn)品質(zhì)量已達到國際同類產(chǎn)品水平。據(jù)悉，下一款全自動設(shè)備首年SN860已進入研發(fā)階段，不少業(yè)內(nèi)人士認為，未來新設(shè)備的上市，勢必將引領(lǐng)行業(yè)智能設(shè)備新形態(tài)。

據(jù)了解，除了設(shè)備銷售和系統(tǒng)性解決方案，首年科技團隊還提供租機服務(wù)及晶圓盒清洗服務(wù)，以滿足不同企業(yè)的實際情況。

當(dāng)前，國際高端制造產(chǎn)業(yè)的競爭日趨激烈，能否在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)上趕超國外，關(guān)系著中國信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的前途。未來，首年科技將繼續(xù)肩負國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備崛起的使命，不斷推陳出新，加速研發(fā)新的清洗產(chǎn)品，滿足不同市場需求。與此同時，首年科技也將在晶圓載具、鐵環(huán)、光罩傳輸中加大投入，生產(chǎn)更具競爭優(yōu)勢的設(shè)備，助力中國芯片行業(yè)做大做強。

審核編輯黃宇