空間光調(diào)器(Spatial Light Modulation, SLM)空間光調(diào)制器(Spatial Light Modulator, SLM)是一種電光轉(zhuǎn)換器件，能夠?qū)斎氲墓膺M(jìn)行調(diào)制、控制，從而實(shí)現(xiàn)圖像重構(gòu)、光學(xué)信號處理等功能。不同類型的空間光調(diào)制器在這些參數(shù)方面可能會(huì)有所不同，具體選型應(yīng)根據(jù)應(yīng)用需求進(jìn)行評估和選擇。

濱松空間光調(diào)制器LCOS-SLM重要參數(shù)介紹。

1.光利用率（反射率）

為了提高光的利用率，在調(diào)制的過程中將光能的損失降到最低，濱松的LCOS產(chǎn)品均為反射式。這里光利用率就定義為光經(jīng)過LCOS液晶面反射的反射率。定義為：平均反射光強(qiáng)占入射光強(qiáng)的百分比。反射率的測試方法如下：

各個(gè)型號的光利用率

濱松可以提供355nm-1550nm范圍內(nèi)的OEM定制產(chǎn)品，我們可以為您專門優(yōu)化您應(yīng)用中需要用到的波長。具體需求請聯(lián)系我們。另外，有些品牌將反射率稱為"零級衍射效率"，這其實(shí)是一回事，不要把"零級衍射效率/光利用率/反射率"與"一級衍射效率"混淆。

2.一級衍射效率

一級衍射效率才是LCOS真正的"衍射效率"，是通過加載閃耀光柵時(shí)（將LCOS作為光柵使用）一級衍射光的能量占零級衍射光（入射灰階從0到255變化時(shí)的平均值）能量的百分比來定義的。加載閃耀光柵時(shí)，光斑級次如下圖所示：

（a）未加載光柵，（b）加載2-level光柵，空間分辨率為25線對/mm，圖中為±1級光及0級光，（c）加載4-level光柵，相當(dāng)于12.5線對/mm的空間分辨率具體檢測衍射效率的方法如下，客戶可以搭簡單的光路，使用光功率計(jì)自行檢測：

光柵level/steps越高，空間分辨率就越低，但是衍射效率越高。對于X13138系列，光柵level/steps和空間分辨率lp/mm之間的對應(yīng)關(guān)系為：

濱松LCOS由于其純相位高精度的相位控制，具有接近理論值得超高衍射效率，X15213系列具體數(shù)值如下：

3. 線性度

相位調(diào)制的線性度在光調(diào)制的精度方面是一個(gè)至關(guān)重要的參數(shù)，而濱松致力于追求等高精度的調(diào)制，在線性度方面做到了行業(yè)頂級。濱松線性度：

可以看到平均值和標(biāo)準(zhǔn)差的線性度都非常好。而一些單純追求相位調(diào)制范圍或分辨率的品牌，容易忽視線性度，這樣就在調(diào)制精度方面存在問題。如：

在主要用到的0-2π區(qū)間范圍內(nèi)線性度較差。而大部分應(yīng)用主要使用的都是0-2π這個(gè)范圍內(nèi)，原因是從波動(dòng)光學(xué)的角度來說，像差2π的整數(shù)倍的兩個(gè)相位的光是可以進(jìn)行等效的。

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審核編輯黃宇