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探討氧化鎵基肖特基勢壘二極管的研究結果

DT半導體 ? 來源:DT半導體 ? 2023-04-08 11:36 ? 次閱讀

摘要: Ga2O3是一種新型寬禁帶半導體材料,禁帶寬度約為 4.8 eV,臨界擊穿電場理論上可高達 8 MV/cm,Baliga 優(yōu)值超過 3 000,因此在制作功率器件方面有很大的潛力。Ga2O3是繼 SiC和 GaN 之后制作高性能半導體器件的優(yōu)選材料,近年來受到了廣泛的關注。介紹了 Ga2O3材料的基本物理性質(zhì),分析了Ga2O3基肖特基勢壘二極管 ( SBD) 的優(yōu)勢及存在的問題。重點從器件工藝、結構和邊緣終端技術等角度評述了優(yōu)化 Ga2O3基 SBD 性能的方法,并對 Ga2O3基 SBD 的進一步發(fā)展趨勢進行了展望。

關鍵詞: 氧化鎵 ( Ga2O3) ; 肖特基勢壘二極管 ( SBD) ; 外延; 邊緣終端; 場板

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參考文獻略

題目:氧化鎵基肖特基勢壘二極管的研究進展

王歌1,2 ,楊帆1,2,* ,王方圓1,2 ,杜浩毓1,2 ,王曉龍1,2 ,檀柏梅1,2

( 1. 河北工業(yè)大學 電子信息工程學院,天津 300130;

2. 天津市電子材料與器件重點實驗室,天津 300130)

DOI: 10.13290 /j.cnki.bdtjs.2022.12.002

編輯:黃飛

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原文標題:氧化鎵基肖特基勢壘二極管的研究進展

文章出處:【微信號:DT-Semiconductor,微信公眾號:DT半導體】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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