MEMS技術亮點 上海交大國家重點實驗室詳解MEMS中的動力學問題研究
這個一份來自上海交通大學振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室，是一份硬核技術資料。
主要講解MEMS工藝過程中的動力學問題，包括了MEMS基本概念、模型、歷史回顧、加工技術、研究成果、應用現狀等內容，推薦需要深入了解MEMS技術的童鞋分享、收藏。
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