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從制造端來聊聊——芯片是如何誕生的

中科院半導體所 ? 來源:IC修真院 ? 2023-04-20 11:50 ? 次閱讀

今天就從制造端來聊聊——芯片是如何誕生的。

01從沙子到單晶硅棒

從一把可以隨手揚起的沙子,到各行各業不可或缺的芯片,需要經歷成百上千道加工程序。其中第一步,就是先把沙子變成單晶硅。

沙子主要成分是二氧化硅,芯片所需的硅元素就蘊含其中。

但要真正地制造芯片,對硅原料的純度要求就非常高了——平均100W個硅原子中最多只能有1個雜質原子。

所以就需要對沙子進行反復多次提純,然后在高溫下通過區熔或直拉工藝,在爐膛中整形或提拉,然后得到硅單晶體棒(單晶硅棒),純度要求達到99.9999%。

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02從單晶硅棒到晶圓

得到單晶硅棒后,進行橫向切割就能得到許多圓柱形的單晶硅片。這個硅片,就是我們常說的晶圓(Wafer)。

晶圓直徑越大,制造難度越大,能夠切割出來的芯片也越多。目前主流的晶圓直徑是12英寸(大概30cm)。

切片之后還需要經過研磨、拋光、清洗工序,讓晶圓片的表面比鏡面還要潔凈平整,以便于后續刻制電路。

到這一步,我們只是為建造芯片打好了“地基”,離芯片本身還差得很遠,接下來才是匯集最先進技術的加工步驟。

03從晶圓到芯片

集成電路,顧名思義就是把設計好的電路以堆疊的形式集成在一起,就像建造城市一樣。

這也就是為什么業內常說造芯片就像蓋房子。

如何把設計好的電路版圖實現在晶圓片上?這其中涉及的步驟就比較多了。

1.光刻

光刻是芯片制造中非常重要的一個工藝程序,也是決定了芯片集成度的核心工序。

在進行光刻之前,需要在晶圓上涂抹液態光刻膠,這一步也叫勻膠。這樣做可以讓光刻膠變得薄且平。

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光刻膠層透過掩模被曝光在紫外線之下,變得可溶,掩模上印著預先設計好得電路圖案,紫外線透過它照在光刻膠層上,就會形成每一層電路圖形。這個原理和老式膠片曝光類似。

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也就是說,要通過勻膠、前烘、曝光、顯影、堅膜等一系列步驟,把晶圓表面薄膜的特定部分去除,留下帶有微圖形結構的薄膜。這樣一來,設計好的電路圖形就能從光刻板上轉移到晶圓表面的光刻膠上。

這就要求光刻設備要具備非常高的圖形分辨率和靈敏度,并且保證缺陷度低。

一般情況下,在半導體器件制造整個過程中會進行很多次光刻流程,生產復雜一些的集成電路可能需要進行多達50步光刻。

2.刻蝕

刻蝕和光刻的聯系非常緊密。

刻蝕就是通過化學反應或物理作用,把晶圓上沒有被光刻膠覆蓋的部分去除掉,只留下一個一個的凹槽(也就是所需要的電路結構)。

刻蝕技術主要分為干法刻蝕與濕法刻蝕。干法刻蝕主要利用反應氣體與等離子體進行刻蝕;濕法刻蝕主要利用化學試劑與被刻蝕材料發生化學反應進行刻蝕。

3.摻雜

擴散和離子注入都是主要的摻雜工藝。

這一步就是可控數量的所需雜質摻入到晶圓的特定區域里,改變半導體的電學性能,使導電的性能增大增強,最后形成N區或P區。

在刻蝕和離子注入完成后,光刻膠的使命就完成了,將光刻膠清除后就可以得到設計好的電路圖案。到此為止,晶體管基本就已完成。

接下來還會進行磨平、形成電極、晶圓測試等步驟。之后,就要對晶圓進行切割,形成一顆一顆的die。

04把芯片封裝起來

其實我們平時常見的芯片,都是通過封裝之后的得到的芯片產品

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封裝就是把芯片的焊區和封裝的外引腳互連,然后再使用絕緣材料外殼把芯片打包起來。

這樣做一方面可以防止芯片受損,起到保護芯片性能、便于運輸的作用,另一方面也可以通過互連,把芯片組件/電路模塊連接起來。

接下來就是芯片測試環節,通常包括老化測試、成品檢測和可靠性測試,通過測試會將不良品剔除掉,留下沒有缺陷的芯片產品。

至此,我們日常所必需的芯片就誕生了。

審核編輯 :李倩

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原文標題:IC科普 | 一顆芯片是如何誕生的?

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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