色哟哟视频在线观看-色哟哟视频在线-色哟哟欧美15最新在线-色哟哟免费在线观看-国产l精品国产亚洲区在线观看-国产l精品国产亚洲区久久

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示

超聲波和超電子粒子的去除

jf_01960162 ? 來源:jf_01960162 ? 作者:jf_01960162 ? 2023-05-03 19:03 ? 次閱讀

引言

顆粒污染是許多行業產量損失的主要原因,精密的光學表面需要盡可能地不含污染顆粒。半導體制造對其清洗過程(晶片清洗)提出了最嚴格的要求。在加工過程中由化學反應引入的顆粒,或通過人工或自動晶圓處理沉積的顆粒,隨后可以屏蔽光刻復制,導致氧化引起的堆積故障,并導致短路和開路。在制造最先進的集成電路的過程中,也必須控制薄膜和離子污染。

在典型的超聲波頻率(40-100 kHz,用于其他行業中較不關鍵的部件)下清洗在半導體制造中不是最明智的選擇,因為相關的空化內爆會造成表面損傷。然而,英思特半導體公司研究發現0.8至0.9 MHz范圍內的聲波清洗(稱為“大電子”清洗)可以有效去除表面污染物而不會造成損害。英思特得出的結論是,在超電子頻率下,波道之間沒有足夠的時間來形成空腔和內爆發生。

實驗與討論

在40~862 kHz的多個頻率下測量了顆粒去除效率。在沉積前,使用SC1(1氫氧化銨:1過氧化氫:5水)浴清洗晶片,并使用PMS激光表面掃描儀(0.1μm分辨率)進行掃描,以建立背景粒子計數。在聲波清洗前后的粒子數中,從晶片上的粒子總數中減去這個未知來源的粒子數。用0.1μm過濾空氣的噴霧器霧化,并沉積在晶片上。每個晶圓片上大約沉積了150到300個顆粒,導致預清洗前的顆粒計數相對較低(1.1-2.4個顆粒/cm2)

poYBAGRSOg2AI5R1AACDgsn9nrc002.png圖1:在862 kHz和150 W的去離子水中,PSL球的去除效率隨輻照時間的變化

圖1、2和3分別顯示了PSL、二氧化硅和氮化硅顆粒在去離子水中去除效率的。數據采集于862 kHz,對傳感器的功率為150 W。結果表明,在幾乎所有情況下,去除效率都隨著粒徑的增加而提高。此外,雖然對二氧化硅和PSL的去除效率相當,但對氮化硅顆粒的去除效率明顯較低。

poYBAGRSOnaAC3TsAAB6eFjusRI228.png圖2:在862 kHz和150 W的去離子水中,二氧化硅球的去除效率隨輻照時間的變化pYYBAGRSPdSAak2pAAB0tdnBxKs242.png圖3:在862 kHz和150 W的去離子水中,氮化硅顆粒的去除效率隨輻照時間的變化

結論

硅片清洗已經是半導體制造中的一項關鍵技術,隨著電路尺寸的減小,它也越來越重要。雖然非常有前途,但聲波清洗過程在傳統上還沒有被很好地理解。本文通過理論和實驗來闡明表面粒子的基本原理。英思特目前的研究在聲波清洗中進一步優化了操作參數。此外,由于SC1溶液的小規模蝕刻行為,硅晶片表面的微裂化是目前關注的一個領域,因為它對隨后沉積的薄膜有有害影響。為了最大限度地清潔,同時最小化粗化的研究正在進行中。

江蘇英思特半導體科技有限公司主要從事濕法制程設備,晶圓清潔設備,RCA清洗機,KOH腐殖清洗機等設備的設計、生產和維護。

審核編輯黃宇

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
  • 半導體
    +關注

    關注

    334

    文章

    27292

    瀏覽量

    218104
  • 超聲波
    +關注

    關注

    63

    文章

    3014

    瀏覽量

    138350
  • 超電子
    +關注

    關注

    0

    文章

    2

    瀏覽量

    5304
收藏 人收藏

    評論

    相關推薦

    超聲波液位計的工作原理 超聲波液位計與其他液位計的比較

    超聲波液位計是一種利用超聲波信號來測量液體高度的儀器。其工作原理基于超聲波在介質中的傳播特性。以下是超聲波液位計的基本工作原理: 發射超聲波
    的頭像 發表于 11-23 10:28 ?317次閱讀

    超聲波簡介

    電子發燒友網站提供《超聲波簡介.pdf》資料免費下載
    發表于 10-25 09:14 ?0次下載
    <b class='flag-5'>超聲波</b>簡介

    如何避免超聲波對晶振的影響

    超聲波技術被廣泛應用于工業生產中,常見的超聲波工藝有:超聲波清洗工藝、焊接工藝。而在電子元器件圈中最常用到的則是超聲波清洗工藝。使用該種工藝
    的頭像 發表于 10-19 08:10 ?400次閱讀
    如何避免<b class='flag-5'>超聲波</b>對晶振的影響

    超聲波和次聲波的頻率范圍和應用

    不同的應用,超聲波的頻率可以從20kHz到幾兆赫茲不等。 應用領域 醫學領域 超聲波成像(B) :利用超聲波在人體內的反射和吸收特性,形成圖像,用于檢查胎兒、檢查器官等。
    的頭像 發表于 09-19 16:42 ?2381次閱讀

    PCB線路板返修主板超聲波清洗

    超聲波清洗機是一種高效的清洗工具,可以去除電路板和其他敏感電子元件上的污垢、灰塵和其他污染物。超聲波換能器產生的高頻聲波會產生空化氣泡,使表
    的頭像 發表于 08-22 02:41 ?610次閱讀
    PCB線路板返修主板<b class='flag-5'>超聲波</b>清洗

    超聲波測速的原理、方法及應用

    超聲波測速是一種利用超聲波在介質中的傳播速度來測量物體速度的技術。它廣泛應用于工業、醫療、交通等領域。 一、超聲波測速的原理 超聲波的定義 超聲波
    的頭像 發表于 08-16 10:36 ?4076次閱讀

    超聲波震動清洗的結構原理與特點

    超聲波清洗機在超聲波的作用下,清洗槽內的液體分子產生高頻振動,從而在液體中形成無數的微小氣泡。這些氣泡在超聲波的推動下迅速膨脹、閉合,產生強烈的沖擊波和射流,有效地剝離和去除待清洗物品
    的頭像 發表于 07-11 11:14 ?587次閱讀
    <b class='flag-5'>超聲波</b>震動清洗的結構原理與特點

    超聲波驅動板-超聲波它激式驅動板

    ? ? ? ? 超聲波它激式驅動板是一種將電能轉換為超聲波能量的設備,主要用于驅動超聲波換能器產生高頻振動,進而實現各種超聲波應用。以下是對超聲波
    的頭像 發表于 06-14 11:54 ?848次閱讀
    <b class='flag-5'>超聲波</b>驅動板-<b class='flag-5'>超聲波</b>它激式驅動板

    超聲波無損檢測原理及應用

    超聲波無損檢測(Ultrasonic Non-Destructive Testing,簡稱UT)是一種利用超聲波在材料內部傳播的特性,檢測材料內部缺陷和結構的無損檢測技術。本文將詳細介紹超聲波無損
    的頭像 發表于 05-24 16:48 ?5422次閱讀

    清洗新技術:超聲波清洗技術

    超聲波是一種頻率超出人類聽覺范圍20 kHz以上的聲波超聲波的傳播要依靠彈性介質,其傳播時使彈性介質中的粒子振蕩,并通過介質按超聲波的傳播
    的頭像 發表于 05-17 09:48 ?694次閱讀
    清洗新技術:<b class='flag-5'>超聲波</b>清洗技術

    超聲波連接示波器問題

    我買了一只中心頻率2.5Mhz的超聲波探頭,當我連接到示波器上的時候就有信號在顯示屏上。 我想問的是示波器上的信號到底是接收的環境中的超聲波信號? 還是當探頭接到示波器上 探頭就會自動的發射超聲波然后再接收自己發射的
    發表于 05-04 14:46

    超聲波換能器的參數、作用、原理

    超聲波換能器被廣泛用于超聲波清洗設備中,通過超聲波振動可以有效地去除物體表面的污垢和雜質,實現高效、快速的清洗效果。
    的頭像 發表于 02-28 17:16 ?8791次閱讀
    <b class='flag-5'>超聲波</b>換能器的參數、作用、原理

    超聲波傳感器形成超聲波的原理

    超聲波傳感器發射頭是利用壓電效應來實現產生超聲波的,就是在發射頭不斷給出一定頻率的如40KHz的電壓信號,就可以產生超聲波
    的頭像 發表于 01-29 10:23 ?1052次閱讀

    超聲波傳感器的工作原理 超聲波傳感器的應用

    超聲波傳感器是一種基于超聲波的無接觸式測距傳感器,可以廣泛應用于工業、醫療、軍事等領域。本文將詳細介紹超聲波傳感器的工作原理以及其在各個領域的應用。 超聲波傳感器的工作原理
    的頭像 發表于 01-18 14:04 ?1700次閱讀

    超聲波發生器的原理

    超聲波發生器又稱超聲波驅動電源、電子箱、超聲波控制器,是大功率超聲波系統的重要組成部分。超聲波
    的頭像 發表于 12-24 10:46 ?1771次閱讀
    <b class='flag-5'>超聲波</b>發生器的原理
    主站蜘蛛池模板: 亚洲日韩在线天堂一| 国产精品亚洲AV色欲在线观看| 美女白虎穴| 中文字幕国产视频| 久久精品亚洲| 99久久国产露脸精品国产麻豆| 老头xxx| bl高h文合集| 日本后进式猛烈xx00动态图 | 把内衣脱了把奶露出来| 欧美特黄99久久毛片免费| 扒开老师大腿猛进AAA片邪恶| 日韩精品卡1卡2三卡四卡乱码 | 亚洲国产精品无码中文在线| 黄色三级三级三级免费看| 在线中文字幕| 青青草原伊人网| 国产亚洲色婷婷久久精品99| 恋夜影院安卓免费列表uc| 粉嫩极品国产在线观看| 樱桃视频高清免费观看在线播放| 欧美在线激情| 久久精品黄AA片一区二区三区| 成人伊人青草久久综合网| 玩高中女同桌肉色短丝袜脚文| 国产美女裸身网站免费观看视频| 亚洲伊人久久一次| 欧美精品熟妇乱| 黑丝袜论坛| jizz非洲| 一本之道高清在线观看一区| 男女免费观看在线爽爽爽视频| 光棍天堂在线a| 伊人久久99热这里只有精品| 欧美最猛黑人XXXXWWW| 红桃传媒少妇人妻网站无码抽插| 777精品久无码人妻蜜桃| 午夜性伦鲁啊鲁免费视频| 蜜芽亚洲欧美一区二区电影| 国产传媒18精品免费观看| 97午夜精品|