引言

傾斜技術(shù)正處于一種變化的狀態(tài)。使用氯化和氟化溶劑的蒸汽脫脂，長(zhǎng)期以來是大多數(shù)工業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)，為了生態(tài)學(xué)的利益，被逐步淘汰。與此同時(shí)，清潔要求也不斷增加。清潔已經(jīng)成為一個(gè)重要的許多行業(yè)的問題。在電子行業(yè)，清潔一直很重要，它在支持不斷增長(zhǎng)的技術(shù)方面變得更加重要。技術(shù)的每一次進(jìn)步都需要更加關(guān)注清潔的成功。因此，清潔行業(yè)一直面臨著提供必要的清潔服務(wù)的挑戰(zhàn)，并在過去的幾年中通過快速的創(chuàng)新來實(shí)現(xiàn)了這一點(diǎn)。

在清潔和清洗方面的好處

在大多數(shù)情況下，清潔要求污染物溶解、置換或同時(shí)溶解和置換（如果不溶性顆粒被可溶性粘合劑如油或油脂保持）。超聲波能和超電子能的力學(xué)效應(yīng)有助于加速溶解和置換粒子。正如超聲波有利于清洗，超聲波和超電子技術(shù)也有利于沖洗過程。通過超聲波和超電子沖洗，可以快速和完全地清除殘留的清洗化學(xué)品。

清潔活動(dòng)只發(fā)生在清潔化學(xué)品和污染物之間的界面處。當(dāng)清潔化學(xué)品溶解污染物時(shí)，在新鮮清潔化學(xué)品和污染物之間的界面處形成一層飽和層。一旦發(fā)生這種情況，清潔行動(dòng)就會(huì)停止，因?yàn)轱柡偷幕瘜W(xué)物質(zhì)不能再攻擊污染物，新鮮的化學(xué)物質(zhì)無法到達(dá)污染物。

圖1：浸入式超聲波換能器是密封的，模塊化的不銹鋼單元，可以設(shè)計(jì)成新的系統(tǒng)或改造成現(xiàn)有的系統(tǒng)，以增加超聲波能力。

最大限度地提高清潔過程

圖2: 小型的、獨(dú)立的、單罐式和臺(tái)式超聲波單元被設(shè)計(jì)用于在小型零件清洗應(yīng)用進(jìn)行超聲波清洗

超聲波清洗過程的有效應(yīng)用需要考慮一些參數(shù)。時(shí)間、溫度和化學(xué)溶液在超聲波和超電子清洗中仍然與在其他清洗技術(shù)中一樣重要；然而，其他物理因素會(huì)影響超聲波或超電子過程的有效性。影響液體中超聲波和超電子能量強(qiáng)度的變量尤為重要。溫度是一個(gè)需要考慮的重要參數(shù)，因?yàn)樵S多影響空化強(qiáng)度的液體性質(zhì)都受到溫度的影響。溫度的變化導(dǎo)致了粘度、氣體在液體中的溶解度、溶解氣體在液體中的擴(kuò)散速率和蒸汽壓的變化，所有這些都影響了空化強(qiáng)度。在純水中，空化效應(yīng)在大約160°F時(shí)最大。

最大化整體清潔效果

清潔溶液的脫氣對(duì)于達(dá)到令人滿意的清潔效果至關(guān)重要。新鮮的溶液或已冷卻的溶液在進(jìn)行清洗之前必須脫氣。脫氣是在加入化學(xué)物質(zhì)后進(jìn)行的，英思特半導(dǎo)體通過操作超聲波或超電子能量并提高溶液溫度來完成。根據(jù)罐容量和溶液溫度，脫氣的變化很大，從小罐幾分鐘到大罐一小時(shí)或更長(zhǎng)時(shí)間不等。一個(gè)未加熱的油箱可能需要幾個(gè)小時(shí)才能脫氣。當(dāng)看不到小氣泡上升到液體表面，可以看到波紋圖案時(shí)，脫氣就完成了。

超聲波或超電子能量可以顯著提高許多浸沒清洗和沖洗過程的速度和有效性，特別有益于提高當(dāng)今首選的水相清洗化學(xué)物質(zhì)的有效性，事實(shí)上，在許多應(yīng)用中都是必要的，以達(dá)到預(yù)期的清潔水平。英思特通過超聲波和超超聲學(xué)，水化學(xué)的結(jié)果往往可以超過以前使用溶劑的結(jié)果。超聲波和超電子學(xué)并不是未來的技術(shù)——它們是當(dāng)今的許多技術(shù)。

圖3：用于超精密、關(guān)鍵清潔應(yīng)用的清潔設(shè)備可以包括高速自動(dòng)化

江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司主要從事濕法制程設(shè)備，晶圓清潔設(shè)備，RCA清洗機(jī)，KOH腐殖清洗機(jī)等設(shè)備的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和維護(hù)

審核編輯黃宇