Micro LED技術的不斷突破，終端企業對Micro LED加持等種種積極信號，都讓LED顯示行業對Micro LED的未來發展充滿了信心。

TrendForce集邦咨詢表示，看好Micro LED在頭戴式的AR穿透式智能眼鏡、穿戴式智能手表、車用智能駕駛座艙及透明顯示產品的發展，預估Micro LED芯片產值將從2022年的1,400萬美金，成長至2027年的12.4億美金，年復合成長率達150%。

當下，Micro LED在上游外延材料制造環節仍面臨不小的阻礙，若要進一步提升Micro LED外延的良率，降低生產成本，最終形成批量生產，MOCVD設備性能是關鍵。在2023年集邦咨詢新型顯示產業研討會上，愛思強副總經理方子文博士就如何實現Micro LED外延量產進行了深入解析。

Micro LED外延量產三大難題

方子文博士表示，如今Micro LED具有各式各樣的轉移方式，轉移過程對Micro LED芯片良率有著嚴苛的要求，若上游的外延材料環節不能保持一個較高的良率，將會對Micro LED的后續制造帶來較大生產成本影響，阻礙Micro LED量產進程。

若要保證外延片的良率，第一需要關注的就是缺陷密度，Micro LED外延片對缺陷密度較為嚴格，當缺陷控制在0.1/cm2以下時，外延生產良率才能夠得到保證，生產成本隨之也能得到控制。

第二是波長均勻性管理，方子文博士表示，要實現更好的均勻性，需更緊密的波長分布，目前行業大部分LED芯片廠商的分選波長范圍在3~4nm，而對于Micro LED而言，分選波長范圍應在2~4nm之間。傳統的顯示類芯片制造依賴于外延后的分選工藝，分選出高度波長集中度的芯片。此類生產流程由于芯片尺寸的下降，已經不適用于MicroLED的生產。適用MicroLED生產的MOCVD設備生產的外延片波長范圍需直接控制在2~4nm以內，其中包括外延片內，片間，以及爐間產出的所有外延面積。

從保障外延片品質入手，提升Micro LED生產效率，降低生產成本外，應用更大尺寸的外延片也是Micro LED成本考量的關鍵。傳統的LED行業普遍在4英寸，而Micro LED的生產工藝會擴大到6乃至8英寸，更大的襯底尺寸可以更好控制Micro LED的成本。

因此，為適應未來Micro LED的發展趨勢，助力成本的快速下降，目前愛思強對于MOCVD設備的研發，均往可適配8英寸外延片生產去設計與考量。

雖Micro LED外延生產仍面臨難點，但愛思強通過獨有的外延生產技術與最新的MOCVD設備，為Micro LED的批量生產提供了一個可行的方案。

基于行星式反應技術，打造Micro LED外延量產設備

方子文博士介紹，愛思強的行星式反應技術（Planetary technology）結合了晶圓級控制和批量生產技術，可以最低成本獲得高良率外延片。

具體而言，行星式反應技術采用了水平流模型，可更容易控制外延片的波長均勻性，為了讓水平流模型有效控制多片外延片的生長，愛思強通過行星式反應器大盤公轉、小盤自轉的方式把水平流模型拓展到多片機中。愛思強的MOCVD設備從而可具有單片機的優質外延波長均勻性管理與缺陷優化，同時還具備多片機的生產成本優勢。

基于行星式反應技術平臺，愛思強打造了兩款針對Micro LED生產的MOCVD設備：AIX G5+C以及今年初最新推出的G10-AsP。

AIX G5+C適配藍綠光Micro LED生產

AIX G5+C可更好地兼容藍綠光Micro LED的生產，設備采用了8x6英寸或5x8英寸的配置，適應各尺寸外延片生產。

對于波長均勻性問題，設備專有的行星式反應器平臺，配備C2C自動卡匣晶圓傳輸技術，能夠在外延過程中對薄膜表面溫度進行晶圓級控制，精準控制銦與多量子阱（MQW）的融合，幫助外延片實現更好的波長均勻性。

設備可將藍光外延片做到1.3nm的范圍內，綠光則可以做到1.5nm，轉換為4nm的情況下，產品良率可達到99.7%。方子文博士表示，AIX G5+C已可以做到一個穩定的波長數據，未來Micro LED外延的生產將全自動化，且生產結果統一，無需分選環節。

對于外延缺陷管理問題，搭載的原位清潔技術，和C2C晶圓自動化傳輸技術能夠在外延片制作過程中確保無顆粒污染薄膜，降低缺陷密度。

G10-AsP針對紅光Micro LED研發

針對紅光Micro LED的量產，愛思強推出同屬行星式反應技術平臺的最新MOCVD設備產品G10-AsP，是業界首款全自動AsP平臺。

設備同樣配備C2C自動卡匣晶圓傳輸、原位清潔等技術，對6英寸以及處理難度更高的8英寸紅光外延片均實現了優質的均勻性與缺陷管理。

成本方面也有明顯的優化，作為一款全自動設備，除更換零部件外，G10-AsP基本無需任何維護，只要補給充足的外延制造材料，即可保持持續運作，實現外延片的批量生產，且相較上一代設備節省了30%以上的成本。

小結

對于Micro LED批量生產難題，愛思強給予了全新MOCVD設備方案，進一步優化外延片生產良率與成本，并已獲得了LED企業的認可。

今年2月G10-AsP以及AIX G5+C設備已獲得ams OSRAM的驗證，用于生產基于8英寸的Micro LED產品。外延片；華燦光電則采用愛思強的AIX 2800G4-TM 和 AIX G5+ C 兩款MOCVD設備，進行Micro LED顯示技術的開發。

方子文博士表示，LED行業進入到Micro LED這一新興市場，需要一個創新性的外延生產解決方案，愛思強對MOCVD設備的均勻性、重復性、缺陷管理以及生產成本管理進行了升級，并標配了自動化技術，企業可直接導入進行Micro LED的生產。未來，愛思強將繼續攻堅Micro LED外延量產難題，助力Micro LED展現真正的價值。

審核編輯 ：李倩