壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運(yùn)動控制,且應(yīng)用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。隨著科技不斷進(jìn)步,精密定位技術(shù)對于定位系統(tǒng)的行程、負(fù)載、精度要求也不斷攀升,哈爾濱芯明天科技有限公司持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)實力和研發(fā)能力,不斷攻克技術(shù)壁壘,提升產(chǎn)品性能,以滿足對大行程、大負(fù)載、高精度的應(yīng)用要求。
此次為大家介紹的是一款具有大行程、大負(fù)載特點的一維壓電納米定位臺,型號為XD770.300S,尺寸為130mm×100mm×33mm,實物外觀如下圖所示。
Z向運(yùn)動,大負(fù)載、大行程
XD770.300S壓電納米定位臺為Z軸方向的運(yùn)動平臺,行程可達(dá)300μm,負(fù)載可達(dá)5kg,實現(xiàn)行程范圍和負(fù)載能力的雙提升,為同時有大行程、大負(fù)載應(yīng)用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器,分辨率高、響應(yīng)速度快。
配置閉環(huán)傳感,更高精度
XD770.300S壓電納米定位臺內(nèi)部配置有閉環(huán)傳感器,反饋可體現(xiàn)精確位置的電信號,可對壓電納米定位臺的運(yùn)動位置進(jìn)行實時調(diào)整,提供更高的精度。經(jīng)過實測,它的線性度可達(dá)0.08%F.S.,重復(fù)定位精度可達(dá)0.02%F.S.。
線性度 | |
正向線性度(%F.S.) | 0.056% |
反向線性度(%F.S.) | 0.073% |
雙向線性度(%F.S.) | 0.073% |
重復(fù)度 | |
正向重復(fù)度(%F.S.) | 0.011% |
反向重復(fù)度(%F.S.) | 0.009% |
雙向重復(fù)度(%F.S.) | 0.017% |
緊湊尺寸,多孔安裝
XD770.300S壓電納米定位臺在具有大承載的情況下,體積并未有過大的增加,反而很緊湊。在它的移動上表面,具有16個負(fù)載安裝孔,非常便于負(fù)載的安裝。
技術(shù)參數(shù)
型號 | XD770.300S |
運(yùn)動自由度 | Z |
驅(qū)動控制 | 1路驅(qū)動、1路傳感 |
標(biāo)稱行程范圍(0~120V) | 240μm |
行程范圍(0~150V) | 300μm |
傳感器 | SGS |
閉環(huán)分辨率 | 10nm |
線性度 | 0.08%F.S. |
重復(fù)定位精度 | 0.02%F.S. |
俯仰/偏航/滾動 | <15μrad |
空載諧振頻率 | 380Hz |
帶載5kg諧振頻率 | 110Hz |
閉/開環(huán)空載階躍時間 | 300/10ms |
承載能力 | 5kg |
靜電容量 | 43.2μF |
工作溫度 | -20~80℃ |
材質(zhì) | 鋼、鋁 |
重量 | 2kg |
XD770.300S壓電納米定位臺可使用芯明天E53.D系列壓電控制器驅(qū)動,它是單通道壓電控制器,可通過模擬輸入控制或上位機(jī)軟件控制。具有體積小、易集成等特點。
審核編輯黃宇
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