壓電納米定位臺在精密定位領域中發揮著至關重要的作用，可集成于各類高精密裝備，為其提供納米級運動控制，且應用非常廣泛，例如顯微掃描、光路調整、納米操控技術、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。隨著科技不斷進步，精密定位技術對于定位系統的行程、負載、精度要求也不斷攀升，哈爾濱芯明天科技有限公司持續加強技術實力和研發能力，不斷攻克技術壁壘，提升產品性能，以滿足對大行程、大負載、高精度的應用要求。
此次為大家介紹的是一款具有大行程、大負載特點的一維壓電納米定位臺，型號為XD770.300S，尺寸為130mm×100mm×33mm，實物外觀如下圖所示。
Z向運動，大負載、大行程
XD770.300S壓電納米定位臺為Z軸方向的運動平臺，行程可達300μm，負載可達5kg，實現行程范圍和負載能力的雙提升，為同時有大行程、大負載應用需求提供了優質的解決方案。配合芯明天壓電控制器，分辨率高、響應速度快。
配置閉環傳感，更高精度
XD770.300S壓電納米定位臺內部配置有閉環傳感器，反饋可體現精確位置的電信號，可對壓電納米定位臺的運動位置進行實時調整，提供更高的精度。經過實測，它的線性度可達0.08%F.S.,重復定位精度可達0.02%F.S.。
| 線性度 | |
| 正向線性度(%F.S.) | 0.056% |
| 反向線性度(%F.S.) | 0.073% |
| 雙向線性度(%F.S.) | 0.073% |
| 重復度 | |
| 正向重復度(%F.S.) | 0.011% |
| 反向重復度(%F.S.) | 0.009% |
| 雙向重復度(%F.S.) | 0.017% |
緊湊尺寸，多孔安裝
XD770.300S壓電納米定位臺在具有大承載的情況下，體積并未有過大的增加，反而很緊湊。在它的移動上表面，具有16個負載安裝孔，非常便于負載的安裝。
技術參數
| 型號 | XD770.300S |
| 運動自由度 | Z |
| 驅動控制 | 1路驅動、1路傳感 |
| 標稱行程范圍（0~120V） | 240μm |
| 行程范圍（0~150V） | 300μm |
| 傳感器 | SGS |
| 閉環分辨率 | 10nm |
| 線性度 | 0.08%F.S. |
| 重復定位精度 | 0.02%F.S. |
| 俯仰/偏航/滾動 | ＜15μrad |
| 空載諧振頻率 | 380Hz |
| 帶載5kg諧振頻率 | 110Hz |
| 閉/開環空載階躍時間 | 300/10ms |
| 承載能力 | 5kg |
| 靜電容量 | 43.2μF |
| 工作溫度 | -20~80℃ |
| 材質 | 鋼、鋁 |
| 重量 | 2kg |
推薦控制器
XD770.300S壓電納米定位臺可使用芯明天E53.D系列壓電控制器驅動，它是單通道壓電控制器，可通過模擬輸入控制或上位機軟件控制。具有體積小、易集成等特點。
審核編輯黃宇
-
壓電
+關注
關注
1文章
95瀏覽量
14234 -
定位
+關注
關注
5文章
1369瀏覽量
35675
發布評論請先 登錄
相關推薦
P75.Z200S/K系列大行程、高精度壓電物鏡定位器
Aigtek功率放大器在壓電納米電機領域有哪些應用
高壓電阻箱如何進行負載測試？
壓電納米運動技術在“超級顯微鏡”中的應用
S54.T1S/K-C系列高精度中空式二維壓電偏擺臺
H60.XYZTR5六自由度并聯機構
深圳光博會首日 芯明天帶您零距離感受“壓電 納米 運動”！
新品推薦 P79.Z200S/K86-D一維Z向高精度壓電顯微樣品臺，帶樣品夾持架！
P60.X200系列高精度一維壓電納米定位臺應用于光學測量
逆壓電效應的應用實例有哪些
ATA-P2010功率放大器
ATA-P1005功率放大器
ATA-P0102功率放大器
H64系列大負載壓電六軸運動平臺用于晶圓調平
工商網監
評論