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晶圓翹曲曲率半徑R高精度快速測量解決方案

jf_54367111 ? 來源: jf_54367111 ? 作者: jf_54367111 ? 2023-05-11 18:58 ? 次閱讀

芯片制造流程中,當薄膜的熱膨脹系數與晶圓基材不同時會產生應力,造成晶圓翹曲,可通過測量晶圓翹曲的曲率半徑R計算應力是否過大,判斷是否影響芯片品質。

當單視野測量范圍無法覆蓋整個晶圓片時,可使用優可測AM-7000系列白光干涉儀進行高精度拼接來解決此問題。

小優博士今天給大家分享白光干涉儀測量晶圓曲率半徑的實際案例。

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圖1-晶圓三維形貌(拼接范圍:18mmx13mm)

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圖2-晶圓某截面曲率半徑R測量R=7012mm

納米級別無縫拼接

相比傳統白光干涉儀提升3倍以上效率

整體形貌一目了然、輕松測量曲率R值

能獲得如此優異的效果,得益于AM-7000白光干涉儀配備的高精度高速度移動平臺。

一、高精度

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圖3-高精度電動平臺

移動平臺拼接精度直接影響拼接效果,影響三維形貌的真實性。平臺精度不足會出現圖片斷層、重疊、過渡不連續的情況,導致測量結果數據不可靠。

區別于普通的移動平臺,AM-7000白光干涉儀采用分辨率0.01μm、精度1μm+0.01L的高精度電動平臺,可實現無縫高精度拼接。

二、高速度

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圖4-拼接設定界面

①拼接速度可達60mm/s;

②拼接路徑優化,自動選擇最短移動路徑;

③XY軸可自定義需要拼接的范圍,不做無效拼接;

④Z軸可單獨設置每個視野的掃描高度,拼接速度再次提升。

三、客制化

此外,優可測白光干涉儀,還提供客制化服務,例如晶圓吸附臺、PCB陶瓷吸附板等等。

想繼續了解更多關于白光干涉儀的測量案例,

關注小優博士,下期繼續給大家分享吧!

審核編輯黃宇

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