MEMS行業，作為基于集成電路技術演化而來的新興子行業，這幾年發展迅速。應用領域也在不斷拓展，成為消費電子、智能汽車、航空航天、智慧生活、環境監測等領域的標配。

用MEMS工藝制造的傳感器可以實現尺寸小型化，隨之帶來的是高集成度、低功耗、低成本、批量生產等優勢，目前約占60%-70%的市場規模，已成為傳感器領域的璀璨明星。

近幾年從市場增速來看，MEMS傳感器在國內市場幾乎每年超過20%，即便是疫情爆發的2020年，其市場增速也達到了23%，是當年國家GDP增速的10倍，權威行業機構預計，到2023年中國MEMS市場規模將達千億規模。

在我國，中高端MEMS傳感器的受重視程度不亞于芯片和5G。近十年來，國家和多地政府出臺了多項扶持政策，為國內MEMS行業的發展提供了良好的發展環境，行業研發和生產體系不斷完善。

目前已有不少企業在探索前行中嶄露頭角，實現從0到1的突破，打破國外技術壟斷。作為國內少有的IDM模式企業，士蘭微電子（簡稱“士蘭微”）便是其中之一，在產品技術創新和目標市場獲得雙贏。

日前，感知芯視界對士蘭微MEMS總設計師王敏昌博士進行專訪，話題圍繞產品線實力、產業護城河建設、人才創新以及產業未來發展前景等展開，探析這個千億藍海市場的風向和機遇。

獨家專訪
走IDM路線 競逐千億賽道

MEMS是利用集成電路制造技術和微機械加工技術，把微傳感器、微執行器制造在一塊芯片上的微型集成系統，呈現多學科交叉、產品高度定制化以及工藝技術門檻高等特點。

目前，MEMS傳感器行業公認的商業模式主要有外購芯片封測模式、垂直分工制造(Fabless)模式和垂直整合制造(IDM)模式三種。

其中，IDM模式除自主設計傳感器外，需配套大量傳感器制造和封裝測試所需設備，資金投入大，屬于重資產企業。

隨著制造技術和封裝測試技術的提高，Fabless商業模式備受青睞。原因在于，Fabless 公司將晶圓制造環節外包，可以將有限的資源投入到IP、架構、驗證等設計環節，從而實現整體的降本和增效。

但由于MEMS制程特殊、產品種類繁多及IP等因素考量，諸如德州儀器、意法半導體和博世等企業仍舊采用IDM模式，并占據MEMS市場的龍頭地位。

士蘭微成立于1997年，起步于芯片設計業務，但公司并不認同單純的Fabless模式能構成可持續的競爭力。

“垂直分工是全球半導體產業發展的重要模式，但很多產品仍需要IDM的模式來實現更好的發展效果。因為IDM企業可以有更多、更寬泛的產品覆蓋面積，包括在成本和研發效率上，有機會做得更好。”士蘭微電子董事長陳向東曾經在媒體采訪中，看好IDM。

2001年起，士蘭微開始進入硅芯片制造業務，不斷將產線從最初的5/6吋升級到8吋和12吋，實現了芯片設計、制造、封測等環節的一體化布局，為后來發展成為MEMS IDM 供應商奠定了堅實的基礎。

2010年，士蘭微看準MEMS賽道潛力，開始投入大量資金，靠完整的MEMS團隊，對加速度計、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產品進行開發，在6吋、8吋芯片生產線上實現了批量制造能力，并建立了封測產線，以百余項發明專利護航，走通了MEMS傳感器的IDM發展之路。

王敏昌博士認為，“產品底層技術依賴自有產線進行工藝、材料等一些底層技術的研究，以及與器件設計的深度磨合，并將這些技術固化在產線上，這是IDM模式的一大特點。士蘭微始終圍繞這一特點，將其轉化為產品優勢。”

據了解，士蘭微在超20年的產業深耕中，成功開發了三十多個傳感器產品，其中加速度計等已大規模導入量產。多項產品和技術居于國內領先，其中，“單芯片六軸慣性傳感器”具有國際領先水平，擁有41項發明/實用新型專利，獲評2019年國家技術發明獎二等獎以及2018年陜西省科學技術獎一等獎獎項。

憑借持續的研發投入和堅持IDM模式所積累的技術優勢，士蘭微的MEMS傳感器業務營收獲得多年持續增長。

感知芯視界梳理士蘭微近3年發布的財報數據獲悉，2022年，士蘭微MEMS傳感器方面營收3.05億元，雖受消費電子市場下行影響，仍同比增長15%。2021 年，MEMS 傳感器產品營業收入突破 2.6 億元，較上年增加 80%以 上。2020 年 MEMS 傳感器營業收入突破 1.2 億元，同比增加90%以上。

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全系列產品多點開花 打開新增長曲線

查詢資料獲悉，MEMS的歷史沿革可追溯至20世紀50年代，硅的壓阻效應被發現后，學者們開始了對硅傳感器的研究，直到20世紀80年代才開始真正實現產業化應用，迄今為止共經歷了3次產業化浪潮。

第一次是20世紀80年代-90年代，安全氣囊、輪胎壓力檢測系統等汽車應用促使MEMS傳感器需求激增；第二次是20世紀90年代末-21世紀初，手機、小家電等消費電子的普及帶動了產業發展；2010年至今，智能產品應用場景的日益豐富，推動了MEMS行業發展的第三次浪潮。

隨之帶動的是MEMS傳感器的產品種類越來越多，運動、壓力、麥克風、環境、光傳感器等不斷推向市場。yole報告分析，在整個市場中，消費電子、汽車和醫療成為了MEMS傳感器的三大增長引擎。

而在上述領域，士蘭微以IDM模式優勢，布局了多系列MEMS傳感器產品，贏得了目標市場的認可。

據王敏昌博士介紹，士蘭微的MEMS產品包括壓力傳感器、加速度計、陀螺儀、麥克風、溫濕度傳感器、光感類傳感器等，其中陀螺儀等產品已在 8 吋線上實現了批量產出。

據介紹，士蘭微MEMS 傳感器廣泛應用于智能手機、智能手環和手表、平板電腦、行車記錄儀、真無線立體聲耳機等智能設備中。其中，加速度傳感器進入國內主要的幾家頭部手機廠商。

未來，士蘭微也志在更廣袤的應用市場，加快向白電、工業、汽車等增量市場拓展，預計其產品出貨量有望獲得進一步增長。

搶占市場高地，企業的產品性能得要“出圈”。王敏昌博士著重提到，士蘭微在產品功耗降低、性能提升、成本降低這三大性能上下足了功夫。

一方面，士蘭微通過在MEMS/ASIC設計方面的努力，進一步縮小器件尺寸，實現功耗、性能、成本方面的綜合提升，比如在ASIC芯片中增加溫補功能等，顯著提高了產品的性能。

另一方面，士蘭微持續深挖底層技術能力，比如工藝質量、材料特性等，通過夯實這些底層核心技術能力，提升產品性能和品質，比如通過優化工藝降低材料的應力，已經將加速度計的零偏降低了三倍，而且這個指標還在持續提升。

“除此之外，士蘭微還在制造產線的建設和優化方面下功夫，以此來提升產品品質，降低生產成本。”王敏昌博士補充道。

緊跟市場需求及時推出一系列新產品、新技術是創新實力的體現。

談及企業如何保持持續的創新能力時，王敏昌博士說了這樣一句話：“很多大的技術創新，往往不是發生在一個領域內，而是發生在多個技術領域的交界處，這是MEMS的一大特點。”

由此，我們得以了解到，士蘭微除了通過相關制度保障外，內部也在不斷打造人才創新的良好環境，鼓勵設計、工藝、封裝等產業鏈的技術人員自由探討與磨合，讓企業的內部創新成果水到渠來。

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“給國內產品更多試用、試錯的機會”

在需求牽引和創新技術的雙輪驅動下，MEMS應用領域也愈加廣泛，產業規模日漸擴大，本土MEMS傳感器產業發展已成燎原之勢。

據梳理獲悉，深圳、蘇州、北京、上海、武漢、鄭州、無錫、蚌埠、成都、廈門等城市正在大力發展MEMS傳感器產業，長三角、珠三角、京津、中部等區域已呈產業集聚之態。

不過，我國的MEMS傳感器高端產品幾乎全靠進口，80%的芯片依賴國外。此外，據賽迪顧問數據顯示，國內市場依然為國外廠商主導，國內市場前 10 廠商占據的份額中屬于國內廠商不到10%，這是不爭的事實。那么，在國產替代進程的趨勢下，自主可控的國產供應鏈之路該怎么走呢？

王敏昌博士指出，產業鏈建設和自主可控是大家一直討論的問題，本土企業存在感弱的原因在于，產業鏈長、技術領域多、底層技術多都是大挑戰。其次，以往國內對國外核心供應的依賴性強，國內產品沒有足夠多的應用機會。

“這些年國內MEMS產業變化挺大，主要原因是國外產品的供應問題。”王敏昌博士認為，本土傳感器產業鏈國產化建設要獲得長足發展，一方面國內的廠家要立足自身領域，不急不躁，持續投入，做好做精自身產品。另一方面，產業鏈上下游之間要互相扶持，給國內產品更多的試用、試錯的機會。

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審核編輯黃宇