壓電(Piezo)
何謂壓電?
壓電表示壓電元件(PiezoelectricElement、Piezoelectric Device),壓電元件是指通過施加力(壓力)產生電壓(壓電效應),或與之相反,通過施加電壓產生變形(逆壓電效應)的元件。
壓電元件使用具有壓電效應的壓電材料。施力時,(+)正離子、(-)負離子的位置會移動,產生(+)和(-)電荷的偏移(電極化),從而產生電壓。
利用壓電效應的主要用途是傳感器,利用逆壓電效應的主要用途是執行機構。
壓電材料的種類
壓電材料大致分為單晶、陶瓷、薄膜等。
羅姆采用的是使用鋯鈦酸鉛(PZT)的薄膜壓電。
PTZ取自元素符號(PbZrxTi1-xO3)(0<1)的首字母,壓電性能非常強,稱得上是壓電元件的主角。<>
薄膜壓電和塊體壓電
大致將厚度約為幾μm的叫作薄膜壓電(壓電薄膜),幾十μm以上的叫作塊體壓電(厚膜壓電)。
利用薄膜壓電可以實現元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。
薄膜PZT的成膜方法
生成薄膜PZT的方法有溶膠凝膠法、濺射法、MOCVD法等。
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