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如何利用基于視覺的邊緣設備優化晶圓制造

星星科技指導員 ? 來源:nxp ? 作者:nxp ? 2023-05-25 09:31 ? 次閱讀

工業4.0、工業物聯網智能工廠—無論使用哪個術語,都指向相同的目標:提高工廠車間的效率、可靠性和信息安全和功能安全。恩智浦不僅設計和生產下一代工業4.0應用核心的創新芯片,而且還集成了工業4.0概念,旨在進一步提高工廠效率。這篇博文將向您展示恩智浦如何將自身技術與Basler公司先進的嵌入式視覺技術相結合,為我們的工廠打造全新的目視檢查概念。

用例

恩智浦在全球范圍內擁有多家晶圓工廠。每家工廠的質量和效率都處于極高水平。但是,我們一直在尋求方法來滿足和超越日益嚴苛的半導體市場需求。在典型的硅晶圓制造流程中, 最后一步是在出廠前對晶圓進行精細包裝并放入運輸箱(wafer box晶圓盒)。

在封閉運輸箱(wafer box晶圓盒)后并進行包裝(充入氮氣)前,操作員將進行目視檢查。這項檢查旨在確保運輸箱(wafer box晶圓盒)中的晶圓處于正確位置(槽位)。這一檢查非常重要,可以避免因為晶圓在運輸過程中擺放不當而影響供應鏈下游。

在裝箱(盒)過程中的出錯概率非常低。因而,操作員很少會遇到錯誤。在如此低的出錯率下,人類行為會導致較高的疏忽概率,即人工檢查也無法發現這種罕見錯誤。作為我們持續改進活動的一部分,硅晶圓廠正在測試一種用于自動完成目視檢查的新概念。這種自動化功能有望提高效率,并在運輸箱(wafer box晶圓盒)出廠之前提供狀態證明。

技術細節

為實現這一計劃,我們與全球領先的計算機視覺應用制造商Basler AG展開了正式合作。我們進行了密切協作來開發基于視覺的邊緣設備,并成功利用兩個公司之間強大的協同效應。Basler在工廠自動化和嵌入式視覺解決方案方面擁有豐富的專業知識,并因此得到業界廣泛認可,有能力打造完整的視覺應用。除了提供經濟高效且功能強大的視覺系統外,Basler還提供完整的應用軟件,對我們的實際用例形成了很好的補充。恩智浦強大的工業級i.MX 8系列應用處理器確保實時算法高效運行所需的高性能。

在這個特定用例中,我們采用了Basler附加攝像頭套件daA2500-60mci-IMX8-EVK,該套件提供5百萬像素的dart系列相機模塊、線纜、鏡頭以及BCON for MIPI到Mini SAS轉接器,支持高達750 MB/s的數據傳輸速度。此外,Basler還優化了驅動程序,可輕松與各種i.MX 8M評估板進行集成。

我們選擇了恩智浦i.MX 8M Mini評估板8MMINILPD4-EVK作為處理平臺。這款評估板配備工業級 i.MX 8M Mini Quad應用處理器,其中以4個Arm? Cortex?-A53@1.6 GHz內核作為主CPU平臺,并以1個Arm Cortex -M4@400 MHz內核作為低功耗/安全CPU,因此是高效計算圖像處理的理想之選。此外,i.MX 8M Mini評估板提供了合適的外設,可滿足本概念驗證的需求。它不僅支持MIPI-CSI攝像頭迷你SAS接頭,還帶有一個1Gbit以太網端口,允許與工廠的制造執行系統(MES)直接進行通信。它是一個節能板,并有足夠多的數字IO信號,能夠與車間的其他設備進行交互。

概念驗證

i.MX 8M Mini評估板以及Basler附加攝像頭套件安裝在進行目視檢查的站點。?應用處理器已經運行了一個圖像處理算法,由Basler根據潔凈室的特定照明條件進行了調整。該算法使用“經典”的圖像處理方法,如分割和BLOB分析。為了通過以太網與MES后端通信,應用向MQTT代理發送/接收JSON消息。

要開始自動目視檢查,將帶有晶圓的運輸箱放置在工業級背光平臺的頂部。Basler攝像頭位于運輸箱上方約一米處,并連接至i.MX 8M迷你板。一旦應用處理器接收到來自MES后端MQTT代理的消息,或者當操作員手動激活連接到評估板的數字輸入時,它就會啟動檢查流程。

一旦圖像被Basler攝像頭捕獲并進行了預處理,實際圖像處理算法就會搜索圖像中的盒子,并將其對齊,執行后續步驟(以防盒子傾斜)。

在以下處理步驟中,該算法查找空插槽以及傾斜的晶圓盤或未完全插入插槽的磁盤。此外,對盒中的磁盤數進行統計。作為該圖像處理例程的結果,i.MX 8M Mini板向MES發送MQTT消息,檢查結論如下:

如果晶圓未在錯誤位置,則顯示OK消息;如果至少有一個晶圓在錯誤的位置,則顯示NOK消息。如顯示NOK消息,將拍攝一張新照片,再次檢查第一個結果。

帶有傳輸盒內晶圓數的消息。

包含標識哪些晶圓位置錯誤的索引的消息。

最后,分析晶圓的16位圖像被傳送到MES,并儲存起來,供工廠處理追蹤。

結論

嵌入式視覺技術在工廠自動化領域的應用呈不斷上升趨勢,其好處顯而易見。由于外形尺寸不斷變小,功耗越來越低,處理性能日益提高,用嵌入式技術替代大型基于PC的視覺系統變得越來越容易,從而確保打造精簡且經濟高效的解決方案。

我們與合作伙伴緊密合作,為工廠自動化帶來創新的機器視覺解決方案。這種自動化視覺檢測系統只是恩智浦和Basler技術的強大協同作用解決工廠自動化領域問題的一個示例。

審核編輯:郭婷

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