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6.3.5.4 其他方法∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-18 09:28 ? 次閱讀

6.3.5.4 其他方法

6.3.5 氧化硅/SiC 界面特性及其改進方法

6.3 氧化及氧化硅/SiC 界面特性

第6章碳化硅器件工藝

《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

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