各行業(yè)技術(shù)的快速更新?lián)Q代,對檢測儀器企業(yè)提出了更高的要求。其中光學(xué)3d表面輪廓儀是做什么的?
光學(xué)3d表面輪廓儀是以白光干涉測量技術(shù)為基礎(chǔ)而研發(fā)生產(chǎn)的,采用的是非接觸式光學(xué)測量,在獲得實時數(shù)據(jù)的同時,不會對產(chǎn)品造成任何損傷,從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本,提高了生產(chǎn)效率,并且在線檢測,沒有滯后性,從而減少不合格品,對表面缺陷檢測亦如此。
中圖儀器SuperViewW1 光學(xué)3d表面輪廓儀搭配軟件可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。
產(chǎn)品特點
1、非接觸式測量:避免物件受損。
2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm-10mm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器:實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件:基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面,強大而快速的運算。
軟件功能
(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。
提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置;
提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進行修正;
提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域。
(2) 提供多種分析工具。
提供距離、臺階高度等要素測量;
提供點、線、圓弧、角度等特征測量,以及直線度、真圓度等形位公差評定,為用戶展現(xiàn)強大的輪廓分析功能;
提供基于表面的紋理分析,方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性;
提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數(shù)、孔的體積等多種有針對性的分析功能;
提供頻譜分析功能,可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等;
提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能;
提供依據(jù)四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D,3D參數(shù),參見參數(shù)表:
(3) 可視化的工作流模式,數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖,在每個節(jié)點既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結(jié)果。
(4) 多樣化的視圖觀察角度,3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征,并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。
(5) 內(nèi)置多種分析方案,可對特定表面進行一鍵分析,自動生成一組分析結(jié)果,節(jié)約操作時間;并可自定義方案,將用戶的分析項目組合起來,避免重復(fù)操作。
(6) 便捷的同步分析功能,可實時提取表面二維剖面,同步計算更新參數(shù)指標(biāo),實現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。
(7) 擁有多種報表形式,用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。
SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。
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白光干涉儀
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