SJ6000激光干涉儀采用雙頻氦氖激光器作為光源。其精度高，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測量大距離用。測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。

激光干涉儀可以檢測數(shù)控車床定位精度和重復(fù)定位精度，但是激光干涉儀的常規(guī)光路搭建都是水平或垂直方向，如何檢查斜導(dǎo)軌機(jī)床？

SJ6000激光干涉儀的線性附件——可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡，能把水平射出的激光俯仰偏轉(zhuǎn)25°以上，結(jié)合線性鏡組可用于傾斜機(jī)床、三坐標(biāo)對角線的測量。

斜床身車床定位精度測量配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組（可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。

產(chǎn)品功能

• 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
• 可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
• 可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
• 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
• 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
• 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

中圖儀器以實(shí)現(xiàn)高精密儀器自主化為己任，SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。