哪些需要用到3D測量儀?SuperViewW系列光學(xué)3D表面輪廓儀主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外的3D測量儀,具有測量晶圓翹曲度的功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。
主要應(yīng)用領(lǐng)域:
1、用于太陽能電池測量;
2、用于半導(dǎo)體晶圓測量;
3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量;
4、用于機(jī)械部件的計量;
5、用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。
比如從設(shè)計到封裝的各個環(huán)節(jié)都要貫徹測試要求的MEMS,由于尺寸小、質(zhì)量小、易受環(huán)境影響等特點(diǎn),MEMS測試的主要目的是在工程發(fā)展中對設(shè)計和仿真過程提供反饋,包括裝置行為、系統(tǒng)參數(shù)和材料特性等。在MEMS測試項(xiàng)目中,表面特性(粗糙度、臺階高)是一個非常重要的項(xiàng)目,目前主要是采用非接觸式的光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)進(jìn)行測量。
應(yīng)用
在3C領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在LED行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;
在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;
在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;
在軍事領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度等。
-
光學(xué)儀器
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
103瀏覽量
11636
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
評論