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ALIO六軸位移臺(tái)Hybrid Hexapod?重新定義納米加工和精準(zhǔn)對(duì)位貼合技術(shù)!

上海昊量光電設(shè)備有限公司 ? 2022-07-21 10:46 ? 次閱讀
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自昊量光電推出全新的六軸位移臺(tái)以來(lái),ALIO Industries的Hybrid Hexapod徹底改變了6D運(yùn)動(dòng)的方法,并重新定義了運(yùn)動(dòng)控制在需要平整度和直線度加上剛度的應(yīng)用中的作用,如納米加工和精準(zhǔn)對(duì)位貼合技術(shù)中的應(yīng)用。

ALIO工業(yè)公司總裁Bill Hennessey表示:“在6自由度(6DOF)納米技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域,Hybrid Hexapod技術(shù)允許在納米級(jí)精度的運(yùn)動(dòng)中提供身體所有6DOF性能的文件證明。因此,它是獨(dú)一無(wú)二的,這是第一次成為可能。我們現(xiàn)在看到領(lǐng)先技術(shù)研發(fā)人員在光學(xué)半導(dǎo)體、制造、計(jì)量、激光加工和微加工領(lǐng)域致力于納米應(yīng)用,并取得了以前無(wú)法企及的成功。”

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所有的傳統(tǒng)六足位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)都在三維空間內(nèi)運(yùn)行,并且在所有的六個(gè)自由度上都存在誤差。然而,傳統(tǒng)六足位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)通常只能用單自由度的運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)來(lái)表征。這種做法在幾個(gè)自由度上留下了誤差來(lái)源,特別是在平面和直線度方面,這是納米級(jí)別的關(guān)鍵精度需求。所以說(shuō),一個(gè)傳統(tǒng)的六足位移臺(tái)在測(cè)量行程的平整度和直線度時(shí),每軸會(huì)損失幾十微米的精度。慶幸的是,Hybrid Hexapod完全克服了這些問(wèn)題。

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Hennessey繼續(xù)說(shuō)道:“因?yàn)閭鹘y(tǒng)六足位移臺(tái)有六個(gè)獨(dú)立控制的連桿連接在一起,移動(dòng)一個(gè)共同的平臺(tái),平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)誤差將是所有連桿和關(guān)節(jié)誤差的函數(shù)。眾所周知,傳統(tǒng)六足位移臺(tái)在執(zhí)行z軸運(yùn)動(dòng)時(shí)具有最佳的精度和可重復(fù)性,因?yàn)樗羞B桿在相同的相對(duì)連桿角上執(zhí)行相同的運(yùn)動(dòng)。然而,當(dāng)任何其他X、Y、俯仰、偏航或搖擺運(yùn)動(dòng)被指令時(shí),由于所有連桿執(zhí)行不同的運(yùn)動(dòng),傳統(tǒng)六足位移臺(tái)的精度和幾何路徑性能大幅下降。傳統(tǒng)六足位移臺(tái)的關(guān)節(jié)不精確,運(yùn)動(dòng)控制器無(wú)法實(shí)現(xiàn)正運(yùn)動(dòng)學(xué)和逆運(yùn)動(dòng)學(xué)方程,因此誤差的來(lái)源更加明顯。”

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Hybrid Hexapod由ALIO開(kāi)發(fā),旨在解決傳統(tǒng)傳統(tǒng)六足架設(shè)計(jì)的關(guān)鍵弱點(diǎn),以及堆疊串行級(jí)的弱點(diǎn),并在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精度、可重復(fù)性和高完整性的平面和直線度。它采用了一個(gè)三腳架平行運(yùn)動(dòng)學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)提供Z平面和尖端/傾斜運(yùn)動(dòng),集成了一個(gè)整體串行運(yùn)動(dòng)學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)進(jìn)行XY運(yùn)動(dòng)。一個(gè)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)集成到三腳架的頂部(或下面,根據(jù)應(yīng)用需要)提供360度的連續(xù)偏航旋轉(zhuǎn)。在這種混合設(shè)計(jì)中,每個(gè)軸可以定制,提供從毫米到1米以上的行程范圍,同時(shí)保持納米級(jí)的精度。

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Hennessey總結(jié)道:“讓我們看看4K鏡頭的制造商。典型的4K鏡頭需要極其高科技的材料技術(shù),精密的組裝實(shí)踐,以及非常復(fù)雜的制造工藝和技術(shù)。所有方向的公差幾乎為零用于制造透鏡的制造過(guò)程經(jīng)常會(huì)導(dǎo)致誤差,這就是為什么它們需要不斷的主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。傳感器和鏡頭對(duì)齊,多個(gè)目標(biāo)沿著鏡頭投影到傳感器,然后拍攝圖像。調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)總是由主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)裝置不斷監(jiān)測(cè),以保持每個(gè)MTF值在預(yù)先確定的范圍內(nèi)。當(dāng)滿足限度時(shí),用紫外光對(duì)膠粘劑進(jìn)行部分固化,然后再進(jìn)行完全熱固化。這確保了在對(duì)準(zhǔn)鏡頭和傳感器平面時(shí)的極端準(zhǔn)確性。Hybrid Hexapod被證明是這種應(yīng)用的完美選擇,因?yàn)樗慕^對(duì)重復(fù)性和精度可以一次又一次地產(chǎn)生準(zhǔn)確的結(jié)果。”

“必須激勵(lì)在可能的前沿工作的工程師提出更多要求,因?yàn)樗麄兛吹竭@項(xiàng)技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)其他人無(wú)法實(shí)現(xiàn)的目標(biāo),具有促進(jìn)創(chuàng)新的潛力,并且可以優(yōu)化制造的效率和成本效益。Hybrid Hexapod 比傳統(tǒng)六足位移臺(tái)精度高出幾個(gè)數(shù)量級(jí),剛性提高100倍,速度提高30倍,可用工作范圍是傳統(tǒng)六軸位移臺(tái)的10倍。

和傳統(tǒng)六足設(shè)備同類型型號(hào)主要參數(shù)對(duì)比優(yōu)勢(shì)

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關(guān)于生產(chǎn)商:

ALIO Industries 成立于 2001 年,由一支由杰出工程師組成的無(wú)與倫比的團(tuán)隊(duì)推動(dòng),他們癡迷于納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制、客戶成功以及盡可能突破感知界限。

今天,ALIO非常重視對(duì)客戶的響應(yīng)。作為一家公司,我們一直專注于納米級(jí)精度,因此我們擁有聲譽(yù)、知識(shí)庫(kù)和穩(wěn)定性,這在需要超精確和可靠的運(yùn)動(dòng)控制時(shí)是無(wú)法比擬的。

與 ALIO 作為您的合作伙伴,您將與一個(gè)強(qiáng)大、完善、財(cái)務(wù)穩(wěn)定、全球認(rèn)可和受人尊敬的品牌合作,為各種行業(yè)領(lǐng)先客戶提供服務(wù)。我們培養(yǎng)伙伴關(guān)系的基本含義,相信當(dāng)知識(shí)在整個(gè)團(tuán)隊(duì)中公開(kāi)共享時(shí),結(jié)果總是更好。這也使我們能夠創(chuàng)造性地為任何應(yīng)用找到實(shí)用的運(yùn)動(dòng)控制解決方案。

ALIO 的團(tuán)隊(duì)以誠(chéng)實(shí)、正直和熱情為特征。我們專注于成功,而不是為了現(xiàn)金流而出售解決方案。這就是性格!這就是為什么我們?cè)诩{米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制解決方案領(lǐng)域享有無(wú)與倫比的聲譽(yù)。

上海昊量光電作為ALIO在中國(guó)大陸地區(qū)最大的代理商,為您提供專業(yè)的選型以及技術(shù)服務(wù)。對(duì)于ALIO有興趣或者任何問(wèn)題,都?xì)g迎通過(guò)電話、電子郵件或者微信與我們聯(lián)系。


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