場景 半導(dǎo)體晶體生長測溫

要解決的問題

還原爐應(yīng)用中，需多點(diǎn)位測溫，有的點(diǎn)位位置較高對準(zhǔn)目標(biāo)比較困難。

升溫過程中，材料狀態(tài)可能發(fā)生變化，導(dǎo)致發(fā)射率隨之發(fā)生變化導(dǎo)致測溫失準(zhǔn)。建議使用雙色測溫儀。

直拉法應(yīng)用中，一般集成于內(nèi)部溫控系統(tǒng)，安裝空間有限。建議使用分體光纖式設(shè)備。

需透視窗測量反應(yīng)物。建議使用近紅外短波測溫。

場景特點(diǎn) SCENE FEATURES01

反應(yīng)溫度需維持在高溫狀態(tài)（還原爐約1080℃、直拉法約為1500℃）。

02可能有較強(qiáng)的電磁干擾，需要使用分體式光纖設(shè)備。03

熔融石英坩堝內(nèi)部反應(yīng)。

04

腔室內(nèi)填充保護(hù)性氣體。

解決方案核心優(yōu)勢IGAR 12-LO（分體光纖測溫儀）

在高溫/高壓/電磁場等環(huán)境中，只放進(jìn)一個(gè)測溫鏡頭，通過光纖傳輸光信號，最大程度的減少了環(huán)境的干擾項(xiàng)，保證測量的準(zhǔn)確無誤。

測溫范圍全覆蓋（300~2500℃）。

高精度，最小可精確讀數(shù)到0.5%+1℃。

極短的響應(yīng)時(shí)間（2ms）。

極小的光斑尺寸（最小為0.45mm）。

光纖探頭耐溫高達(dá)250℃。

診斷功能。

雙色/單色、0/4-20mA、RS232/RS485均可切換。

IGAR 6-TV

具有直觀的視頻模式，且接線簡單。

可記錄視頻實(shí)時(shí)圖像或視頻，多種格式儲存。

測溫量程全覆蓋（100~2000℃）。

高精度，最小可精確到讀數(shù)的0.4%+2℃。

可變焦鏡頭，可調(diào)節(jié)測距（可從210至2000mm內(nèi)測溫）。

設(shè)定內(nèi)可調(diào)多種參數(shù)，使用多種環(huán)境需求。

技術(shù)參數(shù)