在晶圓劃切過程中,不僅需要選擇合適的劃片刀,而且要關注加工條件的優化。合適的劃片刀和良好的加工條件,對于獲得好的切割效果起著至關重要的作用。
上期我們已經分析劃片刀選型的幾個關鍵因素,本期關注加工條件的影響。
加工條件主要涉及以下幾個方面:
主軸轉速
進給速度
冷卻水
主軸轉速
刀片固定在劃片機主軸上,以非常高的速度旋轉,通常在每分鐘25000至60000轉之間,這就是我們通常所說的主軸轉速。主軸轉速是影響切割效果的關鍵因素之一。
在相同轉速下,刀片外徑不同,外圓線速度也不同。不同外徑的刀片為了獲得相同的外圓線速度,必須調整主軸轉速,以保證切割質量及穩定性。
當主軸轉速增加時,金剛石的加工負荷減少,從而提高刀片壽命,同時降低了被切產品正面崩邊產生的風險。但是,金剛石加工負荷減少會阻礙刀片自銳,導致被切產品背面崩邊發生率的增加。
降低主軸轉速,加速刀片自銳,是減少被切產品背面崩邊發生率的有效措施之一。
相同切割條件下,主軸轉速越高,被切產品正面崩邊尺寸越小,背面崩邊尺寸則越大,刀片蛇形切割的發生概率也越高。
為了使被切產品保持良好的切割質量,并達到預期的使用壽命,有必要根據被切產品的材料情況、刀片規格和加工質量要求對主軸轉速進行合理選擇。
進給速度
在切割過程中,我們移動臺盤來實現切割速度的變化(1-300mm/s)。大家都知道工廠生產中,效率意味著成本。切割速度越高,效率越高。但是往往切割速度越高,刀片負載越高,切割品質會越差。因此優化切割速度實現高效率高品質的生產至關重要。
高進給速度下,每顆金剛石的負載也會增加,對崩邊產生較大影響,同時,進給速度會影響刀片壽命。
進給速度越慢,背崩尺寸越小,刀片壽命越長。相反,進給速度越快,背崩尺寸越大,刀片磨損加大,刀片壽命也就越短。
冷卻水
由于在劃切中主軸高速旋轉,在切割材料時,刀片與材料的接觸處會產生很高的溫度,穩定的劃切冷卻水流量,不僅在劃切過程中可以起到冷卻刀片的作用,還可以防止電擊、電弧現象發生,同時沖掉劃切過程中碾碎的碎粒,減少芯片表面的碎屑污染,提高劃切品質。
劃切冷卻水,主要采用去離子水,可根據產品需要增加特殊附件,例如二氧化碳氣體,以改變水質電阻值等。
冷卻水的流量和溫度達到穩定時,劃切品質才能達能最佳。冷卻水流量的調節,包括噴嘴方向、高低、流量大小的調節。只有保證了足夠的冷卻效果,才能有效控制劃切崩裂。
結合以上加工條件以及上期劃片刀的幾個關鍵因素,有硬脆材料切割需求的朋友們,大致就能了解自己需要的刀片了。情況復雜需要更多技術支持的時候,別忘記咨詢深圳西斯特科技有限公司。
西斯特科技
深圳西斯特科技有限公司 (簡稱西斯特SST) ,以“讓一切磨削加工變得容易”為主旨,倡導磨削系統方法論,2015年金秋創立于深圳,根植于技術創新的精神,屹立于創造價值、追求夢想的企業文化。
基于對應用現場的深度解讀、創新性的磨具設計和磨削系統方法論的實際應用,西斯特秉承先進的磨削理念,踐行于半導體、消費電子、汽車零部件等行業,提供高端磨具產品以及“切、磨、鉆、拋”系統解決方案,在晶圓與封裝基板劃切、微晶玻璃和功能陶瓷磨削、汽車零部件精密磨削等領域應用廣泛。
西斯特科技始終以先進的技術、創新的產品、優質服務的理念,引領產業革命,創造無限可能。
-
晶圓
+關注
關注
52文章
4922瀏覽量
128065
發布評論請先 登錄
相關推薦
評論