功率半導體器件是實現電能轉換的核心器件，主要用途包括逆變、變頻等，在家用電器、新能源汽車、工業制造、通訊等領域有著廣泛的應用。小型化、集成化、大功率、低功耗是功率半導體的主要發展方向，這些趨勢也對自動化測試設備提出了更高的要求。SPEA長期深耕半導體測試行業，持續探索并突破核心檢測技術，公司出品的DOT800T功率半導體測試儀在檢測速度、精度、動態雜散電感等關鍵性能指標處于全球領先地位。

DOT800T將一整套的功率測試解決方案整合到了單臺設備之中，提供了在全范圍功率應用中進行 ISO、AC、DC 測試所需的所有資源，從晶圓級到最終產品，均可輕松完成。

DOT800T 不但解決了傳統硅電子器件的測試要求，也解決了氮化鎵和氮化硅等新技術帶來的測試要求，覆蓋了這些產品的性能范圍，包括最高電壓和電流源，高頻低電流測量等需求。

我們已經利用完整且精確的動態測試和靜態測試以及隔離測試序列驗證了該型產品在實際工作條件下的測試能力，能夠充分檢測確保各種器件的質量和可靠性。

所有這些，都集成在了一套高處理量、模塊化且可配置的測試儀之中，這款測試儀專門針對批量生產環境中的測試需求而設計。

DOT800T

單套測試平臺即可覆蓋全范圍功率應用

晶圓

能夠對晶圓級的功率器件進行完整測試，改善良品率，降低成本，為下一步的制造工序做好準備

KGD

能夠對膠片框架中的單個芯片進行完整測試，驗證已知合格芯片的性能

分立器件

能夠對基于 Si / SiC / GaN 技術生產的各種分立器件進行完整測試

IPM

能夠對智能功率模塊的 IGBT 和驅動器組件進行完整測試

DBC

能夠在模塊裝配之前對直接粘合的銅質基板進行完整的測試

IGBT

能夠對已封裝的 IGBT 模塊進行實際工作條件下的完整測試

DOT800T

一套測試儀最多可匹配6個測試站

DOT800T 基于多核心架構：測試儀可配備一個到六個獨立且可配置的測試核心，來在不同的專門測試站上執行 ISO 測試、AC 測試和 DC 測試，每一個測試站都配備有專用獨立控制器。有了這一套系統，您獲得的將是六臺強大測試儀的測試能力和出色性能。可根據具體的要求和操作流程，將測試儀不同的核心指定用作 AC、DC 或 ISO 測試站。可在現場對測試儀的配置進行擴展和升級，滿足不同器件測試對測試儀的要求。不同的測試程序可在真正的并行異步模式下進行，每個測試核心的控制器都能夠管理相應的測試資源、儀器連接和測試程序執行。

DOT800T

功率測試的最佳資源

DOT800T 配備了一整套最先進的專用儀器來執行各種功率半導體測試，設計同于檢測確保新一代寬帶隙技術的性能和可靠性，支持高電壓、高電流、高功率和高切換頻率等各種嚴苛測試條件。該測試儀能夠同時在測試中供應高電壓和高電流，同時仍可保證極為出色的電流靈敏度，其內置的數字化儀可確保在漏電和擊穿測量中實現最佳的分辨率和精度。可利用本地設置存儲來實現模塊設置的更改，也可利用內嵌宏來生成各種斜坡和觸發，這帶來了測試時間短的優點。可在模塊之間實現整系統內的硬件同步，可在高電壓和高電流模塊上實現嵌入警報（例如過溫、過流、波動、開式溫度等），這些都是實現測深儀在混合模式下的可靠和安全運行的基礎。

DOT800T

測試資源

ISO測試資源

• 高達 12kV/10mA DC
• 高達 10kV/20mA AC
• 高電壓安全開關（帶輸出矩陣）用于限制放電電流，確保測試儀在任何情況下都保證安全

AC測試資源

高達6kV，高達3kA

電流短路測試，高達10kA

最多 8 個可獨立編程的門驅動

2 – 8 個多脈沖

數字化儀的取樣率可達10GS/s 取樣率

DC測試資源

中等功率V/I 資源（±100V、±2A，最高可達16A），配備 8 臺驅動和 8 個數字化儀，各自完全浮動和互相獨立

高電壓發生器發生能力高達20kV

高電流發生器可發生高達4kA 脈沖電流，配有自動斜坡發生器，可縮短測試時間

DOT800T

低雜散電感設計

對高功率、高頻率期間的動態測試不僅要求測試儀器的良好性能，還要求測試儀的連接布局、插口和接觸器等的設計必須謹慎且優秀，才能確保在整個信號路徑中充分降低雜散電感, 從而最大程度上減小整流期間的電壓超調問題。SPEA 能夠提供完整的測試解決方案，一步式資源即可覆蓋您測試功率器件的所有需求。
各接觸單元均由 SPEA 研發制造，充分保證了易用性、高性能和低雜散電感等優點，適用于對行業標準和自動封裝的各種器件進行環境溫度下，以及雙溫度或三溫度條件下的測試。針對晶圓 KGD 和 IGBT 模塊，SPEA 也提供有完整的測試設備，整合了機器人自動搬運處理，適用于直接集成到您的生產線之中。

DOT800T

便捷的操作系統

ATOS C2操作軟件可提供編程、調試和測試執行所需的所有資源，并具有可用于生產模式的一整套工具，為用戶帶來了最佳可用性。

測試程序生成和調試僅需不到 1 天

• 無代碼開發，利用軟件自帶庫即可完成編程開發
• 提供繪圖功能，用于視覺對比所測器件不同部分的波形結果（例如單相、3 相、多級 MOSFET 和 IGBT 等）
• 自帶數據獲取記憶內存，用于對所有模塊進行 V/I 監控
• 可編輯測試模型中的每一項參數
• 測試流程可‘隨時按需’更改，無需重新編輯測試程序
• 使用方便，控制簡單

DOT800T

執行測試類型