SuperViewW1白光干涉儀以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

輪廓分析操作步驟：

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方；

2.檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；

3.使用操縱桿調節Z軸，找到樣品表面干涉條紋；

4.微調XY軸，找到待測區域，并重新找到干涉條紋；

5.完成掃描設置和命名等操作；

6.點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；

7.臺階樣品分析第一步：校平；

8.進入數據處理界面，點擊“校平”圖標，和平面樣品不同，臺階樣品需手動選取基準區域，選好基準區域后，先“全部排除”再“包括”；

9.若樣品表面有好幾處區域均為平面且高度一致，可多選擇幾個區域作為基準面進行校平；

10.臺階高度測量：線臺階高度測量

11.進入分析工具界面，點擊“臺階高度”圖標，即可直接獲取自動檢測狀態下的面臺階高度相關數據；

12.在右側點擊“手動檢測”，根據需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區域，數據欄可直接讀取兩個區域的面臺階高度數值；

13.臺階高度測量：線臺階高度測量

14.進入數據處理界面，點擊“提取剖面”圖標，使用合適方向的剖面線，提取目標位置的剖面輪廓曲線；

15.進入分析工具界面，點擊“臺階高度”圖標，由于所測為中間凹槽到兩側平面高度，因此點擊右側工具欄，測量條對數選擇“2”，將紅色基準線對放置到凹槽平面中間，兩對測量線對分別放置在兩側平面，即可在數據纜讀取臺階高度數據。

粗糙度分析操作步驟：

1.將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態穩定；

2.將夾具放置在載物臺上；

3.檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；

4.使用操縱桿調節三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

5.完成掃描設置和命名等操作；

6.點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；

7.進入數據處理界面，點擊“去除外形”，采用默認參數，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

8.進入分析工具模塊，點擊參數分析，直接獲取面粗糙度數據，點擊右側參數標準可更換參數標準，增刪參數類型；

9.如果想獲取線粗糙度數據，則需提取剖面線；

10.進入數據處理界面，點擊“提取剖面”圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取；

11.進入分析工具界面，點擊“參數分析”圖標，點擊右側參數標準，勾選所需線粗糙度相關參數，即可獲取線粗糙度Ra數據。

日常維護：

1、SuperViewW1白光干涉儀應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動時，應托住底座，以防導軌變形。

2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和y醚混合液輕拭。

3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。

5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。

6、經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。