垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成,詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn),在測量過程中保持原位,且不進(jìn)行調(diào)整;光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中,允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差=光學(xué)直角尺誤差-斜度θ1-斜度θ2。
激光干涉儀可以實現(xiàn)機(jī)床線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。
如機(jī)器軸垂直度誤差測量(數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)等),SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度,即在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進(jìn)行比較,得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸,在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整,光學(xué)直角尺測量中,允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直,而不動直線度反射鏡。
典型情況下對于1.5米長的機(jī)器軸,像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇,因為傳統(tǒng)的實物基準(zhǔn),如直角尺(金屬或大理石等)的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。
SJ6000激光干涉儀應(yīng)用范圍廣:
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測;
②結(jié)合軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析;
③可實時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù),進(jìn)行動態(tài)特性分析。
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