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Kasite微納加工中心設備丨高精度微小孔深孔加工原來可以這么簡單

速科德電機科技 ? 2023-02-16 11:53 ? 次閱讀

在航天航空、光學、生物醫療、半導體、通用機械加工、模具制造等領域工業制造中都有微孔深孔、微孔磨削加工的應用,直徑越小、深度越大的微小孔對其要求加工的精密度就越高,難度越大,速科德創新研發的KASITE-SKD系列微納加工中心設備在微孔深孔方便實現了獨特的技術突破,解決了微型加工各種難題!原來高精度微小孔深孔加工可以這么簡單!

一、Kasite微納加工中心設備

KASITE-SKD系列微納加工中心設備加工余量可達20nm-100μm,微孔打孔加工應用于LED芯片制造,觸摸屏,LCD,消費類電子,半導體,MEMS,照明,醫療等行業等。

KASITE-SKD系列微納加工中心由德國SycoTec高速電主軸(轉速100000rpm,精度≤1μm)、視覺對刀統(高倍率遠心鏡頭組成,2000W像素)、高精度光柵反饋(分辨率:10nm、20nm、50nm、100nm)、高精度高響應直線電機和視覺軟件組成。

poYBAGPsiomAHcquAAg3aSGZMuI970.pngKasite微納加工中心設備

二、Kasite微納加工中心設備性能參數

poYBAGPsioWADBDpAAIjll2ryd0353.pngKasite微納加工中心設備技術參數

三、Kasite微納加工中心設備加工案例

案例一、Kasite微納加工中心設備高精度深孔加工

加工難點:

孔深系數(D/L)約等于100,正向精度±0.005mm,孔洞位置精度±0.02mm

加工工藝:

Kasite微納加工中心設備綜合精度高,加減速度控制精準,并通過對銑刀的選擇,主軸轉速,進給率等綜合技術工藝設定,實現高精度無變形深孔加工,保證垂直度和孔的位置不偏移。

poYBAGPsipSAVJ-DAAYOUrvdamw365.png高精度深孔加工pYYBAGPsipSARaiGABBQmV-9p-Q782.png高精度深孔加工

案例二、Kasite微納加工中心設備高精度微小橢圓加工

加工要求:

圓度公差≤2μm,短軸0.75mm,長軸0.9mm

加工工藝:

Kasite微納加工中心設備主軸通過高分辨率CCD相機定位孔洞圓心坐標,開始以進刀量為1μm畫整個橢圓軌跡,高硬度材質加工均勻磨削,直到擴大到短軸0.75mm,長軸0.9mm的橢圓,橢圓精度誤差在2μm以內。

poYBAGPsiqqADy5EABrQt0rZYNE046.png高精度微小橢圓加工

案例三、Kasite微納加工中心設備高精度微針加工

加工要求:

微針形狀圓錐形、圓柱形、三棱錐、四棱錐等。微針高度600-800μm,底邊長200μm,針體間距500-800μm

pYYBAGPsiraADVwbAAREbAtVBTw441.png高精度微針加工

文章來源:速科德電機科技丨德國SycoTec(kavo)亞太服務中心

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