一般來說三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

三坐標測量是通過XYZ三個軸測量各種零部件及總成的各個點和元素的空間坐標，來評價長度、直徑、形狀誤差、位置誤差的一種測量設備。配備了高精度的導軌、測頭和控制系統，并使用計算機程序來自動控制檢測流程，計算輸出測量結果。

3中常見的三坐標測量儀

1、三坐標測量機是測量和獲得尺寸數據的有效方法之一，因為它可以代替多種表面測量工具及昂貴的組合量規(guī)，并把復雜的測量任務所需時間從小時減到分鐘，這是其它儀器而達不到的效果。Mars系列移動橋式三坐標測量機在三維空間上通過采集點的三維坐標來評定物體幾何形狀，是集光、電、氣、機械與計算機技術為一體的自動化坐標測量儀器。

2、全自動影像測量儀有放大作用，可作長度、角度、形狀、表面等檢驗工作。屬非接觸式、二次元測量， 尤其適合彈性、脆性材料的測量。可增加探針傳感器配置，這相當于一臺小的三座標測量儀，即為復合式影像測量儀，在需要測量高度的地方，用探針取元素（點或面），然后在軟件內計算高度。

激光跟蹤儀是利用激光干涉、測距儀和兩個相互垂直的角編碼器組成的三維光學坐標測量儀器，通俗地說，它是利用光的反射、光的干涉和光電信號轉換等原理實現測量的儀器，它使用激光來跟蹤目標反射鏡，通過自身的測角系統和激光測距系統來確定空間點的坐標，從而實現完整的測量過程，其測量精度最高可達到10um，能檢測出各部件行走精度，比如機床導軌直線度，轉臺軸向，相互垂直度，徑向跳動等。實際加工過程中可以使用激光跟蹤儀實測被加工零件尺寸，以此做為機床加工進給量的依據，此時激光跟蹤儀由檢測設備轉變?yōu)楣に囋O備，用于制造機床加工。

除了傳統的三點建坐標、點線面建坐標、多點擬合坐標系等方式以外，GTS激光跟蹤儀還提供了一種復雜擬合建坐標方式，這種建坐標方式允許使用工件上的任意曲面、平面、定位孔、定位點組合起來作為建坐標的基準，擬合計算出工件坐標系。