昊衡科技自主研發以OFDR為核心的高分辨光學鏈路診斷儀OCI,具有超高空間分辨率,能精確測量回損、插損和光譜等參數,其事件點定位精度高達0.1mm,廣泛應用于光器件、光模塊、硅光芯片等內部鏈路反射情況測量,以下為一組硅發射芯片測量。
硅發射芯片主要組件有一維光柵耦合器,可變光衰減器,強度調制器和偏振調制器。將芯片和OCI1500連接,進行反射率分布測量。
圖1. 硅發射芯片鏈路示意圖
在10μm空間分辨率下獲得測試結果,其中存在多個反射峰,且與芯片內部器件一一對應。為確定反射峰位置,在調制器上施加信號,對反射峰的變化情況進行觀察和分析,得到最終分析結果。
圖2.硅發射芯片10μm測試結果從上述結果可以看出,高分辨光學鏈路診斷儀(OCI)可實現對芯片內各器件的識別、定位及回損測量。OCI設備在芯片前期研發以及后期產線產品批量合格檢測中,可起到關鍵性作用。昊衡由衷希望,國產OFDR技術助力國產化芯片制造,加速硅光芯片項目開發、測試與生產。
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