白光干涉儀核心硬件-壓電陶瓷的大作用 | 科普篇
優可測Atometrics白光干涉儀AM系列搭載著超高精度掃描單元——壓電陶瓷納米級步進！逐層掃描還原真實三維形貌，讓微小瑕疵、細微劃傷無所遁形。
今天小優博士帶您了解壓電陶瓷在白光干涉儀內的重要作用。
通過前幾期文章，相信大家已初步了解白光干涉儀實現納米級測量精度的原理。前兩期傳送門
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白光干涉儀如何選擇鏡頭丨科普篇
如何驗證白光干涉儀精度丨科普篇
01
壓電陶瓷 PZT
壓電陶瓷PZT通過給予電壓信號產生相同間距的微量位移，負載鏡頭進行逐層掃描。是白光干涉儀實現精細逐層掃描核心硬件。
是測量精度和三維圖像真實還原度的決定性因素。
區別于步進電機，壓電陶瓷有著如下幾個明顯優勢
① 步進低于幾十納米甚至幾納米
② 步進線性均一
③ 步進可控性強
02
壓電陶瓷精細掃描案例
圖1 金剛石工具表面 ( ER-230拍攝 )
金剛石表面細節豐富細膩
圖像真實還原性極高
圖2 5nm臺階高度測量 ( NA-500拍攝 )
低于10nm的超微臺階輕松應對
圖3超光滑鏡片表面粗糙度（ NA-500拍攝)
03
三大特點
優可測Atometrics 白光干涉儀AM系列搭載的壓電陶瓷
“高精度”
“大量程”
“高速度”
白光干涉儀具體還由哪些重要的硬件組成呢？
關注小優博士，下期繼續給大家科普吧！
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