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半導體領域集成微多孔透氣膜材料應用介紹

微爾斯說eptfe膜 ? 2023-05-19 10:11 ? 次閱讀

近日,深圳國際半導體展覽會在深圳會展中心舉行,展示以芯片設計及制造、集成電路、封測、材料及設備、5G新應用、新型顯示為主的半導體產業鏈。有眾多***、晶圓制造半導體制造、顯示面板制造等設備廠商都集成了POD無塵拖鏈護套、部分設備真空吸附平臺集成了透氣多孔膜材料等。

1、POD無塵拖鏈護套

POD無塵拖鏈護套采用高分子PU與e-PTFE基膜(PD014\PD011)復合制成。POD無塵拖鏈護套專用e-PTFE基膜(PD014\PD011)具有低介電常數、耐摩擦、拉伸強度高、防塵阻液、抗酸堿及耐老化等特性。作為線束中的隔離帶,其重量輕、一致性好。符合RoHS、REACH、鹵素認證

2、透氣多孔膜(超高分子量聚乙烯多孔膜)

多孔透氣膜是采用超高分子量聚乙烯(UHMWPE)粉末經特殊工藝制作而成,形成一種多孔性透氣膜(VLC502\VLC503\VLC505等)。它具有透氣性和低摩擦系數,同時保持了超高分子量聚乙烯的耐化學性、耐磨性和黏性消除等特性。

3、防水透氣膜(微孔過濾膜)

防水透氣膜是一種高分子防水透氣材料,采用ptfe樹脂經特殊工藝制作而成多微孔性過濾薄膜(ES681\ES682\ES672等),由于孔徑小于水分子直徑,而又大于氣體分子直徑,所以它能過濾氣體中的雜質、使氣液分離,殼體內外壓力平衡、防水透氣、微孔過濾排氣。同時還具有ptfe本身的特性、疏水、耐高低溫、防腐蝕等。在從多半導體制造設備中的傳感器中比較常見。

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此外,微爾斯新材料事業部(VONM)作為專注于eptfe膜材料的開發與應用,依托掌握的密封防水防塵、微孔泄壓排氣、氣壓平衡等功能技術,還在半導體其他領域中提供防護產品,例如:柔性管狀透氣膜、微孔過濾膜、防水透氣閥等。

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