白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀,是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化,能實現(xiàn)表面輪廓的三維重建并可進行輪廓尺寸分析。
白光干涉儀的形貌測量,以表面形貌為主,即工件某一個表面上的微觀形貌:
1、微觀輪廓尺寸測量:主要是臺階高、槽深之類,涉及到最小縱向10nm量級,在驗證上可以與原子力顯微鏡、臺階儀交叉驗證。
2、粗糙度測量:白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級別。面和線粗糙度測量,最高可確保0.1nm的測量可靠性,不限制材質(zhì)和形狀。
SuperViewW1白光干涉儀粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm,利用光波干涉原理 將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來,并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量,以得出被測表面粗糙度,可以輕松測量曲面粗糙度。
球面鏡曲率半徑、粗糙度測量針對葉片類曲面零部件,型號為W3的白光干涉儀能夠在空間范圍內(nèi)實現(xiàn)曲面全自動測量功能,解決其形狀不規(guī)則裝夾不便、測量點分布不在同一個面、單次測量效率低的問題。
測量發(fā)動機葉片大空間自由曲面-
白光
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干涉儀
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