精密光學領域，一般把Ra值＜0.3nm的元件稱為超光滑（超滑）元件。其極低的粗糙度和無損的高質量表面，在光學系統中可以有效的減少光的散射，在例如激光陀螺儀、高功率激光、超精密光學等領域，有廣泛的應用。

隨著一些行業對超光滑元件的使用越來越多，推進了表面加工技術快速發展的同時，也對其亞納米級的粗糙度檢測提出了更迫切的需求。

近來優可測白光干涉儀AM系列已為多家超光滑企業提供無接觸、無損傷的粗糙度測量方案。在此分享給大家，一起來看看超光滑元件究竟有多光滑。

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樣品一

樣品二

粗糙度Sa值分別為0.082nm、0.137nm！！！

相當于5km見方的空間范圍內僅芝麻粒大小的凹凸起伏！

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優可測白光干涉儀AM系列NA-500可以觀察到如此細膩的微觀世界，主要得益于以下幾點：

1.使用高精度壓電陶瓷，通過精確控制電壓信號產生微量位移；

2.500萬像素的高感光度傳感器及“弱光提取算法”，精確采集點云數據；

3.軟件獨特的“相位展開”圖像采集功能，有效抑制系統噪聲。

另外優可測Atometrics AM-7000系列白光干涉儀掃描速度最快可達400μm/s，如上結果僅用3-5秒鐘即可獲得！

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