FEI-Centrios線路修補設備可以更高效地根據客戶需求,完成鋁制程及銅制程芯片,市場大部鋁制程及銅制程(90nm,55nm,40nm,28nm,14nm,10nm以下)均可以施工。
季豐電子目前一共擁有5臺FEI-Centrios線路修補設備,張江實驗室3臺FIB線路修補設備,深圳實驗室2臺線路修補設備,為區域及輻射區域客戶提供更高效更便捷的支持服務。
FIB-CKT
FEI-Centrios線路修補設備專注于芯片微加工技術,在納米級線寬的微細加工領域發揮著重要作用,同時也使季豐FA分析服務鏈更完整。
3.2nm超高分辨率聚焦離子束鏡筒,能夠更精準無污染的對復雜樣品進行加工,支持最小14nm工藝制程;配置高分辨率 IR 顯微鏡可觀察(900 - 1700nm)可以進行高精度的Back-side。
局部的線路修改可省略重作光罩和初次試作的研發成本,有效縮短研發到量產的時間,節省大量研發費用。
FIB設備的應用:
同層和不同層金屬線的切割和連接
通過十字Pad或方塊Pad引出金屬線信號進行電性測試
Bonding Pad 將芯片內部信號通過打線直接引出到封裝體上
22nm的金屬線的切割和連接
Backside-FIB切割
IR定位
責任編輯:彭菁
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原文標題:季豐電子新增設備-FIB-CKT 線路修補設備 FEI-Centrios
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