6月17日-18日，以“南沙芯聲聚勢未來”為主題的2023中國·南沙國際集成電路產業論壇在廣州南沙盛大召開，來自半導體產業的500多位嘉賓齊聚一堂，共襄盛舉。廣東省委常委、副省長王曦，廣東省政府副秘書長許典輝，廣州市委常委、南沙區委書記盧一先，廣州市委常委、常務副市長陳勇，廣東省商務廳一級巡視員陳越華，廣東省科技廳副廳長楊軍，廣東省工信廳副廳長曲曉杰，廣東省工信廳總工程師董業民，廣東省發改委二級巡視員賴茂華等出席本次活動。

著眼中國半導體發展，整個產業鏈要實現國產化、提升生產效率，工業軟件系統的環節必不可少。賽美特是一家國產半導體CIM解決方案供應商，其自研的全自動化半導體CIM解決方案，已經得到了多家12吋晶圓廠的量產驗證。會上，賽美特科技董事長兼CEO李鋼江發表了主題演講，從12吋晶圓產線的困難與挑戰出發，介紹了賽美特國產半導體CIM解決方案實現彎道超車的發展歷程。

12吋晶圓產線的困難與挑戰

當前，12吋晶圓工廠量產存在著四大難點。首先是高工藝，隨著芯片線框越來越小，工藝管控也越來越嚴格；其次是高成本，半導體廠投資巨大，機臺、設備、物料等成本非常高；其三是高良率，這直接關系著投資收回速度；最后是高產量，機臺設備和效率若無法充分利用，投資同樣難以高效回收。

要解決上述困難和挑戰，離不開CIM——即半導體制造的生命級系統，協調各個設備的生產，以提高良率和生產效率。CIM不是單個工具軟件，而是一整套解決方案，幫助工廠夯實基座、強壯生產全鏈路。

目前，半導體工廠為了實現7×24小時不間斷安全穩定的生產，對產線智能化的要求越來越高，同時為了滿足供需，對良率的要求也越來越高。在半導體的CIM場景中，賽美特認為自動化場景大致分為8個方向，即倉儲自動化、設備自動化、工藝自動化、監控自動化、派工自動化、質量自動化、排程自動化和分析自動化。

這其中，工廠生產效率和良率又是兩個最重要的方向。

生產效率方面，賽美特CIM解決方案滿足工廠完整的生產自動化閉環執行流程——PDCA，即計劃、執行、檢查、調整。首先，APS系統會通過算法，對組織的未來投入和產出進行目標調優；其次，RTD/Fully Auto會把產品計劃分配到具體執行任務上，實現排程和計劃結果的自動化生產；然后，Report/Monitoring會根據生產結果進行報表和監控，對結果進行檢查；最后，基于檢查結果，系統會進行實時調整，包括任務目標及參數等。

提升良率方面，賽美特的品質管理系統（SPC，YMS，FDC等）能夠實時記錄和收集生產過程中的數據，并進行智能分析，這將極大地幫助產線管理者更高效、更全面地掌握生產狀況，并及時作出優化和調整，從而降低產品不良率。例如一個內存芯片的加工，可能會涉及200多層工藝，其中每一層又有很多套工藝需要加工，傳統的歸因分析法便不再適合。通過品質管理系統則可以快速收集數以百計的機臺數據，以及每個機臺成百上千的參數，再把這些參數混合在一起，進行數據挖掘和學習處理，進而輔助生產決策、提升產品品質。

賽美特如何彎道超車？

賽美特雖然是一個剛剛成立兩年多的品牌，但整合了多家具備數十年半導體工業軟件經驗的團隊，志在成就半導體工業軟件國產化，目前已發展成為行業內技術人員最多、產品線最全、12吋產線案例最豐富的供應商。總部設于上海，在蘇州、深圳、北京、成都、合肥、臺灣、新加坡和馬來西亞都設有子公司。

據悉，賽美特的12吋晶圓廠全自動化CIM解決方案歷經了3次迭代與升級。從2020年系統整合到2021年半自動化1.0版本，再到2022年全自動化2.0版本。在今年，賽美特將進化成支持高階制程、大規模量產的3.0版本，助力12吋晶圓產線達到規模化的量產。

半導體制造的工業軟件領域更講究穩定，這就導致行業內其他廠商的迭代速度比較慢。賽美特作為半導體CIM解決方案國產代表，擁有資深技術團隊，系統建設在最新的技術架構上，并積極擁抱前沿技術（AI,大數據等）所帶來的產業變革。

截至目前，賽美特是國內唯一經過多家12吋晶圓廠量產驗證的全自動化CIM解決方案供應商，成為了該細分領域國產梯隊的第一名。技術上，賽美特已實現了國產替代；在應用上，還需要更多客戶的支持與信賴。

展望未來，李鋼江在結尾表示：“做好產品，懂得這個行業，有長期堅持的決心，加上團隊管理，客戶信賴和時代機遇等，才能做好一家國產半導體CIM解決方案企業，但這不是終極目標，未來，賽美特既要做最受客戶信賴的智能制造軟件供應商，更致力于成為一家偉大的工業軟件公司。”

審核編輯：劉清