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聯訊儀器裸Die半導體激光器芯片測試機

聯訊儀器 ? 2023-07-20 00:00 ? 次閱讀

芯片良率是影響企業成本的重要因素之一,半導體激光器屬于化合物半導體,其主要材質以非常脆的砷化鎵、磷化銦為主,在其制備的各個工藝環節,良品率不高是一個普遍問題。以國外知名芯片企業為例,其生產能達到70%以上良率,但后道封裝以及最終產品嚴格判定標準等累計具有30%良率的損失。良品率不高,就需要專用的測試裝備對不良品進行篩選,國內在此領域原先一直停留在低端的Bar條測試,bar條測試后的芯片需要二次裂片,中間環節各種因素對于苛刻的高端芯片又會導致3-5%的良率損失。

隨著半導體激光器芯片速率越來越高,后道封裝存在芯片尺寸更小及工藝更復雜的趨勢,而這些二次損傷的芯片被作為良品流入后道封裝環節,會帶來了巨大的成本支出,從而提高了成品器件的生產成本。另外半導體激光器芯片對溫度非常敏感,Bar條在測試臺上的接觸因為不能完全滿足芯片在高溫測試條件下散熱的要求,重復測試GRR不能保證。因此,國內外廠家都已經逐步從低端的Bar條測試轉向高端的裸Die半導體激光器芯片測試

聯訊儀器芯片測試機

聯訊儀器激光器芯片測試機是光芯片測試的關鍵核心高端裝備,集光、機、電、軟、算于一體的復雜系統,通過集成芯片ID掃描、上料、運輸、高/低溫控制、測試、下料、分揀歸類功能單元,可以適應不同類型半導體激光器 (DFB、EML、EML+SOA)裸Die芯片及CoC芯片光電特性進行檢測、判定與分選。

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產品優勢


▌支持工業低溫-40℃~95℃;

▌支持多種產品 DFB/EML/EML+SOA;

▌測試速度快;

▌專利測試載臺;

▌OCR 深度學習算法

▌高可靠性和穩定性;

不同激光器配置不同數量加電探針;

支持激光器前光與背光LIV掃描測試,以及前光光譜測試;

芯片測試機系統功能模組



上料模組

支持藍膜或者Gelpak;

在有效范圍內進行Die的定位和相鄰物料間隔自動計算,實時調整物料位置


▌Chip搬運模組

搬運模組由吸嘴高精度直線電機組成;

實現上料藍膜—>常高溫測試載臺—>下料藍膜間的轉運


▌視覺定位模組

視覺定位以及OCR提取(OCR 深度學習算法 )


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▌測試模組

◢ 自研控溫載臺,高導熱,高穩定性,高耐磨

加電探針,自研高可靠性探針組件,確保扎針穩定性

視覺+運動模組,校正芯片位置與出光角度

大面積探測器與專用光學準直器組件,進行LIV掃描與光譜掃描測試


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▌下料分檔模組

支持多種分Bin條件,可自由配置


系統軟件


▌功能強大,操作簡潔

操作界面,信息錄入,配置測試計劃;

測試信息界面,測試數據,測試結果展示

測試指標


▌系統功能

支持產品類型

支持客戶指定的Chip測試
測試溫區數多溫區
測試項目前光與背光LIV+前光光譜
測試參數Ith,Se,Iop,Ir,Pf,Vf,Kink,Rs,IRoll,λc,SMSR,ER,Iea,Pea,OMA等近百個參數
OCR提取支持ChipID識別
吸嘴結構特殊吸嘴結構設計,避免波導被壓傷
上料料盒藍膜
下料料盒藍膜
下料分檔下料分檔條件可自主配置

▌光參數

探測器類型Gephotodiode
光譜測試波長范圍800-1650nm
光功率測量范圍10uW-25mW(>25mW可增加衰減片測量)

▌電參數

源表類型聯訊源表S3022F或指定類型
DC電流源范圍10A~150nA
電流分辨率50uA~500fA
最小電流測量精度0.05%+偏置
最大DC電壓源200V
最小電壓分辨率1uV
最小電壓測量精度0.02%+偏置
加電類型支持CW與Pulse方式加電

規模化應用

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